安子凤
- 作品数：3 被引量：13H指数：2
- 供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金河南省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程更多>>
- 甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响被引量：8
- 2011年
- 纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用。但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律。
- 史新伟安子凤张水宋开兰姚宁王新昌
- 关键词：金刚石薄膜化学气相沉积
- 氮化钛薄膜的制备与光电性能研究
- 氮化钛是由离子键、共价键和金属键混合组成的一种宽禁带半导体材料,它的结构决定了其优异的性能,如耐高温、耐腐蚀、硬度高、化学稳定性好等,主要应用于工业、装饰业以及电子行业等。其主要光学性能有两点:近红外区的高反射和可见光区...
- 安子凤
- 关键词：磁控溅射氮化钛薄膜光学性能
- 纳米片状金刚石膜的生长过程被引量：2
- 2011年
- 采用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为1∶1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌和碳结构。结果表明,纳米金刚石薄膜呈现片状的组织特征,其生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成由纳米碳颗粒组成的球状碳团簇;随着沉积时间的增加,碳团簇逐渐增大,纳米碳颗粒定向排列或自组装,最终形成片状纳米金刚石膜。
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