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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 1篇电子气体
  • 1篇四氟
  • 1篇四氟化硅
  • 1篇气体
  • 1篇控制图
  • 1篇过程能力指数
  • 1篇氟化
  • 1篇高纯
  • 1篇SPC
  • 1篇纯化

机构

  • 2篇中国船舶重工...

作者

  • 2篇张净普
  • 1篇李丹丹
  • 1篇柳彤
  • 1篇李翔宇
  • 1篇孙秋丽
  • 1篇郑秋艳
  • 1篇王斌
  • 1篇徐海云

传媒

  • 1篇化工新型材料
  • 1篇化学工程师

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
6 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
八氟丙烷纯化研究进展被引量:2
2016年
随着电子工业的迅速发展,高纯八氟丙烷电子气体的需求量日益增加。总结了八氟丙烷的纯化方法,包括精馏法、吸附法、杂质转化法和膜分离法,并对各方法的优缺点进行了分析和讨论。
黄华璠徐海云王斌柳彤张净普
关键词:纯化电子气体
SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用被引量:1
2014年
本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象,论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用。
李丹丹李翔宇郑秋艳张净普孙秋丽
关键词:SPC四氟化硅控制图过程能力指数
共1页<1>
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