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张晶

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇全息
  • 2篇全息干涉
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光栅
  • 1篇等离子体
  • 1篇旋涂
  • 1篇时域有限差分
  • 1篇时域有限差分...
  • 1篇太赫兹
  • 1篇图形化
  • 1篇偏压
  • 1篇全息光栅
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀深度
  • 1篇刻蚀系统
  • 1篇拉曼
  • 1篇活性基
  • 1篇活性基底
  • 1篇基片
  • 1篇激光

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇张晶
  • 3篇宋国峰
  • 3篇王立娜
  • 3篇胡海峰
  • 2篇白文理
  • 2篇徐云
  • 1篇王永宾
  • 1篇陈良惠
  • 1篇宋国锋
  • 1篇刘运涛
  • 1篇蔡利康
  • 1篇蔡立康

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
大面积有序可控表面增强拉曼活性基底的制备方法
一种大面积有序可控表面增强拉曼活性基底的制备方法，包括如下步骤：步骤1：使用电子束蒸发技术，在一洁净衬底表面沉积金属薄膜；步骤2：在金属薄膜上旋涂光刻胶并前烘；步骤3：采用全息干涉曝光技术，得到图形化的光刻胶掩膜板，从而...
宋国峰王立娜张晶白文理蔡立康胡海峰
文献传递
具有宽度周期性渐变表面的全息光栅制备方法
一种具有宽度周期性渐变表面的全息光栅的制备方法，包括如下步骤：步骤1：使用材料生长技术，在一洁净衬底表面沉积薄膜材料；步骤2：在薄膜材料上旋涂光刻胶并前烘；步骤3：利用全息干涉曝光技术，曝光、显影得到图形化的光刻胶掩膜板...
宋国峰王立娜胡海峰张晶徐云刘运涛
文献传递
一种制备GaSb基分布反馈激光器中光栅的系统及方法
本发明公开了一种制备GaSb基分布反馈激光器中光栅的系统及方法，该系统包括：一全息曝光系统，用于材料表面光刻胶光栅的制备；一反应离子刻蚀设备，用于实现光刻胶光栅到GaSb材料系中的光栅转移。本发明提供的这种制备GaSb基...
王永宾张晶徐云宋国锋陈良惠
文献传递
基于表面等离子体的太赫兹光束方向调控的模拟研究被引量：1
2011年
本文根据锑化铟(InSb)材料在THz波段下复介电常数对温度的响应特性,采用了带有光栅的锑化铟-介质-锑化铟的表面等离子体波导结构,实现了1THz频率光束的准直出射,并能够通过调整结构两侧光栅的温度差来控制出射光束的角度.由时域有限差分方法得到光束偏转角度与温度差之间的关系.理论上利用表面等离子体波导模式的光栅耦合机理解释光束方向改变的原因.
胡海峰蔡利康白文理张晶王立娜宋国峰
关键词：表面等离子体太赫兹时域有限差分方法
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