张玉林
- 作品数：23 被引量：28H指数：3
- 供职机构：山东工业大学更多>>
- 相关领域：电子电信石油与天然气工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 源于温度的电涡流传感器交叉敏感的补偿被引量：12
- 2000年
- 文中在分析了高温差环境造成电涡流传感器交叉敏感的机理的基础上 ,以电涡流传感器在测量液态金属的电阻率过程中所出现的问题为例 ,提出了若干相应的补偿措施。
- 韩韬施文康张玉林
- 关键词：电涡流传感器电阻率液态金属
- 亚微米电子束曝光机数控电流源系统
- 1993年
- 对于亚微米级的电子束曝光机而言,电子光柱体电流源系统的自动化程度及各路电流源尤其是物镜电源的稳定度,对束斑的影响极大。为突破0.1μm的束斑,特研制了一种电流源系统,集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。 系统构成 该系统在结构上抛弃了传统的开环控制方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源。整个电流源系统由23个模块组成,其中20块电源板输出20路独立的电流;
- 徐群张玉林裘培勇
- 关键词：电子束曝光机数字控制电流源
- 亚微米电子束曝光机数控电流源系统被引量：3
- 1992年
- 本文介绍了亚微米电子束曝光机电流源系统。该系统在国内首次使用计算机实现了自动化调节,系统内关键部位使用了大量先进器件,多达20路独立可调的电流输出,稳定度均达到2×10^(-5)/1小时。其中对稳定度要求最高的物镜电源,由于首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源系统,形成了一个闭环反馈控制电路,使它达到5×10^(-6)/4小时的稳定度。该系统还具有很强的抗干扰能力,纹波<1×10^(-5)V_(P-P)。这些指标保证了0.1μm束斑的精度要求,它的研制成功为电子束曝光机的自动化调机奠定了基础。
- 徐群张玉林裘培勇
- 关键词：曝光机计算机控制电子束光刻
- 微机在金属腐蚀与防护领域中的应用
- 1994年
- 微机控制的金属微区扫描系统，不仅可自动测试金属在介质中发生局部腐蚀时的极区位置及活性大小，显示和绘制电位分布图，生成档案文件，还能为介质提供可变的外加电位和温度条件。
- 张玉林雷海亮王金香
- 关键词：金属腐蚀微机
- 电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
- 1998年
- 电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性。
- 尹明孙晓军张玉林
- 关键词：偏转磁场象差VLSI
- 有限长单位脉冲响应滤波器在电子束电源系统中的应用被引量：1
- 1998年
- 本文介绍了应用于亚微米电子束曝光机电源系统中的ＦＩＲ滤波器。在高稳定状态下提供严格的线性相位特性，使系统指标确保了０．１μｍ束斑的精度要求。
- 尹明张玉林
- 关键词：电子束曝光机FIR滤波器电源系统
- FIR滤波器在电子束曝光机中的应用被引量：1
- 1998年
- 尹明孙晓军张玉林
- 关键词：FIR滤波器电子束曝光机亚微米
- CJZ4ZZ自动组装机的微机控制
- 1998年
- 在设计ＩＣ插座自动生产线中，计算机以传感器矩阵方式控制ＩＣ插座自动生产线的运行。以矢量方式控制电机、传感器的采样信号。整条生产线结构紧凑，操作简单，使用灵活，抗干扰能力强，常年运行可靠性高。
- 尹明孙晓军张玉林
- 关键词：插座微机控制
- 电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数被引量：3
- 1996年
- 本文基于作者提出的“函数逼近的数值迭代概念”，修正了电磁复合场中电子成像系统的三级几何像差方程式，给出了具有更高精度的像差计算公式和用集中参数形式描述的像差系数表达式，为像差的数值计算和电子光学系统的计算机优化设计提供了实用的理论依据。
- 杨立才张玉林陈振生
- 关键词：电子光学像差
- 一种新型的电子束图形发生器
- 1993年
- 本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。
- 魏守水张玉林
- 关键词：电子束曝光机图形发生器电子束微细加工
