张维新
- 作品数：31 被引量：67H指数：5
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 薄膜型二氧化锡气敏元件及其制造方法
- 一种改进了的薄膜型二氧化锡气敏元件及其制造方法。这种薄膜型二氧化锡气敏元件的加热膜是二氧化锡膜，该膜内含有一定量的锑，敏感膜也是二氧化锡膜。该气敏元件性能稳定，元件互换性好。并且制造方法简便，工艺重复性好，生产效率高，使...
- 张维新徐步华侯曾一
- 文献传递
- 硅高温压力传感器
- 一种硅高温压力传感器。涉及一种测量压力的存在及其数值大小的半导体敏感器件，尤其是在较高温度下测量。此实用新型主要由硅杯及应变膜和联结成电桥的四个压敏电阻构成。硅杯6的应变膜11与多晶压敏电阻1、2、3、4之间是二氧化硅绝...
- 张维新朱秀文毛赣如
- 文献传递
- 新型集成压力传感器的研究被引量：6
- 1996年
- 本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作触发器型集成压力传感器．文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论．重点分析了噪声对传感器特性的影响，在测试电路中加入调控三角波电压，可以改善传感器的特性．
- 张维新毛赣如曲宏伟姚素英李建文
- 关键词：集成压力传感器传感器集成电路压力传感器
- 噪声对触发器型传感器特性的影响(英文)
- 1998年
- 介绍一种由敏感元件和双稳态触发器电路组成的新型半导体集成传感器，该传感器具有灵敏度高和数字量输出的特点．论述了传感器的工作原理和结构，详细分析了噪声对传感器特性的影响，定量地论述了三角波电压的调制作用及其对传感器性能的改进，并以集成压力传感器为例进行了讨论．实验结果与理论分析基本相符．
- 姚素英毛赣如曲宏伟张维新
- 关键词：半导体集成电路噪声
- 二氧化锡材料气敏机理的研究被引量：15
- 1989年
- 本文建立了氧离子陷阱势垒模型来说明多晶SnO_2材料的导电机制与气敏机理,推导出了不同情况下SnO_2灵敏度与还原性气体浓度的关系,以及影响该灵敏度的结构参数.实验结果表明,提出的模型能较好地解释SnO_2材料的各种气敏特性.
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- 关键词：二氧化锡多晶气敏机理氧离子
- 多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算被引量：2
- 1999年
- 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点,研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.
- 姚素英曲宏伟张维新毛赣如李永生
- 关键词：有限元方法多晶硅灵敏度压力传感器
- 一种半导体压力传感器被引量：7
- 2005年
- 根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.
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- 关键词：绝缘体上硅高温压力传感器微机械加工
- TMAH在压力传感器制作中的应用被引量：3
- 2000年
- 介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。
- 刘洪姚素英曲宏伟张生才张维新毛赣如
- 关键词：四甲基氢氧化铵压力传感器
- 集成三漏CMOS磁敏传感器
- 1993年
- 本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS工艺完全兼容,成本低、易于批量生产,具有高的性能/价格比。
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- 关键词：磁敏传感器传感器CMOSMOSFET
- 触发器型压力传感器的研究
- 1996年
- 本文报道了一种触发器型压力传感器，对这类传感器的电路结构和工作原理进行了理论分析。详细讨论了影响传感器特性的四种因素。定量地分析了调控三角波电压对传感器测量灵敏度和线性范围的影响。对实验结果进行了讨论，理论分析与实验结果基本一致。
- 张维新毛赣如王建华
- 关键词：压力传感器双稳态触发器灵敏度
