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铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究被引量：23: 2000年; 用化学共沉淀法制备了铟锡氧化物（ＩＴＯ）复合粉末。粉末经冷等静压成型后进行热等静压致密化。热等静压时采用碳钢作包套，采用铜箔作隔层。实验研究了热等静压工艺参数──保温温度、保压压力和保温时间对ＩＴＯ陶瓷靶材致密化的影响。实验结果表明：靶材的相对密度在大约１０００℃处有一峰值；相对密度随压力增加而增加；当保温温度较低时，适当延长保温时间有利于提高密度；当保温温度较高时，延长保温时间反而使密度降低。分析了ＩＴＯ在高温下的分解行为以及这种行为对致密化的作用。还分析了ＩＴＯ复合粉末部分脱氧使ＩＴＯ陶瓷半导化的机理。; 张树高扈百直吴义成方勋华黄伯云; 关键词：铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化

铟锡氧化物热等静压时分解氧对裂纹形成的作用被引量：4: 1999年; 用化学共沉淀法制备的铟锡氧化物复合粉末经冷等静压成形后进行热等静压致密化所得靶材常常会产生裂纹．用电子探针分析了铟锡氧化物热等静压后裂纹处铟、锡和氧的成分分布．结果表明，裂纹处铟含量极低，锡含量极高，而氧含量低于配比含量，这与Ｉｎ２Ｏ３和ＳｎＯ２在高温下不同的分解行为有关；粉末经高温煅烧预处理后，进行热等静压致密化所获得的靶材的相对密度可达到９８％以上，且裂纹大大减少．; 扈百直张树高付晓旭吴义成; 关键词：氧化铟氧化锡热等静压

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扈百直