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杨树文

作品数:4 被引量:1H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域:电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇误差分析
  • 2篇工作台
  • 2篇差分
  • 1篇弹簧
  • 1篇导轨
  • 1篇直线导轨
  • 1篇执行器
  • 1篇丝杠
  • 1篇丝杠副
  • 1篇切割机
  • 1篇自动切割机
  • 1篇末端执行器
  • 1篇晶圆
  • 1篇回程误差
  • 1篇机械结构
  • 1篇机械手
  • 1篇滚动直线导轨
  • 1篇滚珠
  • 1篇滚珠丝杠
  • 1篇滚珠丝杠副

机构

  • 4篇中国电子科技...
  • 1篇北京中电科电...

作者

  • 4篇杨树文
  • 1篇吕荣华
  • 1篇秦江
  • 1篇李霖
  • 1篇胡章坤

传媒

  • 4篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
自动切割机桥形工作台的误差分析被引量:1
2010年
以自动切割机桥形工作台为研究对象,针对其高精度要求,通过对其结构的具体分析,系统并详尽地对三轴桥形工作台的各种误差源进行了分析计算;通过高斯公式计算出各驱动轴定位精度误差;介绍了桥形工作台定位精度的测量方法,对理论结果与实测结果进行了分析比较,验证了误差分析结果的正确性,为高精度桥形工作台的设计提供参考。
胡章坤秦江杨树文吕荣华
关键词:误差分析自动切割机
砂轮划片机z向工作台机械结构关键技术的研究
2008年
通过滚动直线导轨应用理论和应用技术的研究及滚珠丝杠副应用技术的分析,针对砂轮划片机z向工作台运动特点,设计了z向工作台机械结构,并分析了系统的刚性误差,通过检测和实际使用验证了设计结果。
杨树文
关键词:滚动直线导轨滚珠丝杠副
砂轮划片机θ向机构和传动误差分析
2009年
对砂轮划片机θ向机构及齿轮传动误差产生原因进行了分析。对消隙齿轮θ向机构中的回程误差和传动误差进行了估算,并对验证数据进行了分析,所述方法及计算实例对解决工程实际问题提供依据和建议。
杨树文
关键词:传动误差齿轮传动回程误差
晶圆传输机械手的实现途径及其结构设计
2023年
晶圆传输是集成电路制造设备的组成部分之一;研究晶圆传输核心部件机械手的实现途径和国内外的技术状况,分析晶圆传输机械手的更新和迭代,探讨传输精度和效率的优化措施。通过对应用技术和需求分析,对其机械结构和末端执行器进行逆向设计并对其性能进行测试,把设计固化为可以应用的技术成果;同时提出了晶圆传输机械手的优化方向,为后期技术升级和产业化提供了理论依据,其研究结果对同类设计具有借鉴意义。
杨树文李霖于朋扬李峥
关键词:机械手末端执行器
共1页<1>
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