您的位置： 专家智库 > >

沈健

作品数：26 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：上海市基础研究重大（重点）项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 3篇学位论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇理学
  • 2篇经济管理
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇液氦
  • 6篇制冷
  • 6篇制冷系统
  • 6篇隔振
  • 4篇低温制冷
  • 4篇低温制冷系统
  • 4篇电子束直写
  • 4篇振动
  • 4篇物理性质
  • 4篇刻蚀
  • 4篇隔振系统
  • 3篇制冷机
  • 3篇制冷机系统
  • 3篇准分子
  • 3篇准分子激光
  • 3篇准分子激光器
  • 3篇逻辑运算
  • 3篇进样
  • 3篇冷机
  • 3篇机械泵

机构

  • 26篇复旦大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 26篇沈健
  • 23篇殷立峰
  • 11篇高春雷
  • 8篇王文彬
  • 6篇黄迪
  • 6篇张帅
  • 4篇牛洁斌
  • 1篇吴义政
  • 1篇刘邦贵
  • 1篇周晓东
  • 1篇杜恺
  • 1篇马飞
  • 1篇成昭华
  • 1篇禹日成
  • 1篇何攀
  • 1篇孙继荣
  • 1篇李强
  • 1篇张晓光
  • 1篇闵泰
  • 1篇孙阳

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇中国基础科学
  • 1篇中国物理学会...

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 3篇2020
  • 5篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2013
  • 1篇2008
  • 1篇2002
  • 1篇1998
共 26 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种基于无液氦室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜
本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁...
吴施伟孙泽元张帅黄迪周盛予殷立峰高春雷沈健
文献传递
一种集多值存储和逻辑运算于一体的器件单元及操作方法
本发明属于多值存储和逻辑运算技术领域，具体为一种集多值存储与逻辑运算于一体的器件单元及其操作方法。本发明器件单元包括由复杂强关联氧化物薄膜制备成的微纳米线、生长薄膜的衬底以及在其表面微纳加工得到的多对侧栅电极。当在侧栅电...
时倩林汉轩郁扬江凤仙王文彬殷立峰沈健
文献传递
ASMPT公司进入中国市场营销战略案例及评析
外资企业在中国的舞台上正迅速成长为一支新生力量,正逐渐发挥着越来越重要的作 用.随着中国改革开放的进一步深入,中国市场已逐渐成为全球市场的一个有机组成部分.半导体行业是一个全球性行业,许多公司为降低半导体后道封装成本在中...
沈健
文献传递
一种将庞磁阻锰氧化物薄膜在纳米尺度图形化的方法
本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种将庞磁阻锰氧化物薄膜在纳米尺度图形化的方法。本发明首先在已经生长了庞磁阻锰氧化物薄膜的钛酸锶衬底上旋涂电子束光刻胶并烘烤，然后使用电子束直写光刻技术曝光所需纳米尺度图形版图，显影定影...
牛洁斌殷立峰沈健
文献传递
一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统
本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗...
吴施伟周盛予张帅黄迪殷立峰高春雷沈健
文献传递
大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统
本实用新型公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统。本实用新型系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本实用新型通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，...
朱银燕叶碧莹郁扬黄海明王文彬高春雷吴施伟殷立峰沈健
文献传递
一种极紫外掩模的制造方法
本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种极紫外掩模的制造方法。本发明首先将极紫外掩模的总版图拆分并且添加电子束光刻对准标记，在基板衬底上旋涂光刻胶后使用激光直写技术制作大面积微米尺度胶掩蔽图形和电子束光刻对准标记胶掩蔽图形...
牛洁斌殷立峰沈健
文献传递
一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统
本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低...
吴施伟周盛予孙泽元张帅黄迪殷立峰高春雷沈健
文献传递
一种极紫外掩模的制造方法
本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种极紫外掩模的制造方法。本发明首先将极紫外掩模的总版图拆分并且添加电子束光刻对准标记，在基板衬底上旋涂光刻胶后使用激光直写技术制作大面积微米尺度胶掩蔽图形和电子束光刻对准标记胶掩蔽图形...
牛洁斌殷立峰沈健
大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法
本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统...
朱银燕叶碧莹郁扬黄海明王文彬高春雷吴施伟殷立峰沈健
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0