石云波
- 作品数：483 被引量：720H指数：13
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 基于米氏散射及磁控粒子运动的散斑消除装置
- 本实用新型涉及以相干光为光源的显示技术领域，具体是一种基于米氏散射及磁控粒子运动的散斑消除装置，解决了现有散斑消除方法存在的消除散斑效果不佳、实现结构复杂、易损坏、成本高等问题，包括其上设有入射光耦合装置和透射出射面的封...
- 陈旭远高文宏石云波张文栋
- 文献传递
- 一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构
- 本发明涉及惯性导航测量技术，具体是一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构。本发明解决了传统惯性导航系统不适用于高转速飞行体姿态测量的问题。一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构包括轴向负荷承载区、径向负荷承载...
- 刘俊李杰张文栋杨卫段晓敏石云波张晓明郭涛秦丽马喜宏鲍爱达唐军
- 文献传递
- 三轴微加速度计轴心差角的四点测试方法
- 本发明为三轴微加速度计轴心差角的四点测试方法，涉及三轴微加速度轴心差角的测试方法。本发明解决目前没有测试三轴微加速度计轴心差角的具体方法的问题。将三轴微加速度计以被测轴垂直于分度头轴线、其它两轴分别平行于分度头轴线的方向...
- 张文栋秦丽熊继军刘俊薛晨阳石云波秦海涛
- 文献传递
- MEMS传感器制备中的玻璃通孔金属填充工艺设计被引量：1
- 2018年
- 如何简单、快速且低成本制备穿通导线一直是基于玻璃通孔的微机械传感器晶圆级真空封装的技术难点。根据电化学反应理论,设计了一种有掩膜电镀的穿通导线制备方法。采用纳秒激光烧灼得到玻璃通孔,利用掩膜增大电镀时通孔周围的电流密度,实现了任意尺寸玻璃通孔的快速金属填充。实验分析确定300?m厚的玻璃最优通孔直径为100?m,通孔间的电阻均约为0.347?,最大误差为2.59%。通过沿通孔划片得到的扫描电子显微镜下图像可以看出,金属填充致密均匀,形貌良好。
- 石云波赵思晗赵永祺李飞焦静静李志强
- 关键词：激光打孔
- 一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法
- 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法，具体是一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法，该方...
- 曹慧亮刘俊石云波唐军李杰申冲高晋阳邵星灵黄堃张英杰
- 文献传递
- 一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试方法
- 本发明涉及硅微机械陀螺仪的动态标定技术，具体是一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试方法。本发明解决了现有硅微机械陀螺仪动态标定方法标定结果不准确、标定过程费时费力、标定效率低下的问题。一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试...
- 刘俊曹慧亮石云波申冲唐军马宗敏
- 文献传递
- 主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法
- 本发明涉及惯性导航控制技术，具体是一种主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法。本发明解决了目前尚无一种能够有效提高主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的控制品质的方法的问题。主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制...
- 李杰张樨刘俊张晓明刘喆石云波唐军郭涛鲍爱达杨卫秦丽马喜宏崔星赵诣
- 文献传递
- 激光投影显示中静态复合散斑的表征与建模被引量：3
- 2013年
- 对激光投影显示系统中形成散斑的光学系统进行了简化。采用理论与实验相结合的方式,用简化的光学系统分析了复合散斑的形成机理和有效表征方法。基于散斑对比度分析法,对影响复合散斑对比度的4个重要因素,即入射光束的光斑直径,散射片与屏幕之间的距离,屏幕上粗糙散斑颗粒和屏幕表面的精细散斑颗粒进行了系统实验分析,并通过实验数据确定了这些因素与复合散斑对比度的函数关系。基于统计分析,研究了复合散斑的构成成份,提出了粗糙散斑颗粒与精细散斑颗粒对复合散斑的贡献模型,并通过实验验证了其可行性。实验结果为有效抑制激光投影显示中的复合散斑提供了实验依据。
- 徐美芳王维彪高文宏石云波
- 关键词：激光投影激光显示激光散斑
- 单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析被引量：10
- 2012年
- 对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验,得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95 gn以上的冲击信号作用时,传感器各轴仍然能够正常工作;其三轴轴向灵敏度均能达到0.1μV/gn以上,各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6%,轴间横向灵敏度比小于10%。
- 石云波赵锐唐军刘俊李科杰
- 关键词：加速度传感器大量程MEMS
- 高精度加速度传感器信号处理电路的设计被引量：6
- 2005年
- 介绍了一种基于AD650的高精度加速度传感器的V/F信号处理电路的设计。通过电压/频率变换的方式来实现A/D变换,使得输入/输出的转换速度和转换精度的调节具有较大的动态范围。AD650作为一种高精度的电压/频率转换器件,其外围电路设计简单,通过适当的电路设计与调试,可以获得4.92×10-4的非线性度和小于0.01Hz/min的零偏稳定性。
- 唐军郭涛石云波刘俊
- 关键词：加速度传感器
