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简二梅
简二梅
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
赵炳辉
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
叶志镇
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
朱丽萍
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
何海平
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
顾修全
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
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简二梅
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叶志镇
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何海平
1篇
刘伟昌
1篇
朱丽萍
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1篇
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年份
3篇
2008
共
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一种以NH<Sub>3</Sub>作为N源的In-N共掺制备p型ZnO薄膜的方法
本发明公开了一种以NH<Sub>3</Sub>作为N源的In-N共掺制备p型ZnO薄膜的方法,该方法利用直流反应磁控溅射技术,以In金属为施主掺杂源,以NH<Sub>3</Sub>为N源并作为受主掺杂源制成的。以ZnIn...
叶志镇
简二梅
刘伟昌
赵炳辉
文献传递
In-N共掺制备p型ZnO与ZnMgO薄膜及其性能的研究
ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,属于六方纤锌矿结构。ZnO在光电、压电、热电、铁电等诸多领域都具有优异的性能,但是最具潜力的应用是在光电器件领域。室温下ZnO的禁带宽度宽为3.37 eV,激子结合能为60 m...
简二梅
关键词:
氧化锌
半导体材料
禁带宽度
电学性能
文献传递
在不同衬底温度下用直流反应磁控溅射法制备p型ZnO薄膜(英文)
被引量:1
2008年
采用直流反应磁控溅射方法,通过改变衬底温度并优化生长参数,在玻璃衬底上生长了In-N共掺p型ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)测试表明,所得薄膜结晶性能良好,且具有很好的c轴择优取向。Hall测试的结果所得p型ZnO薄膜最低电阻率为35.6Ω·cm,霍尔迁移率为0.111cm2·V-1·s-1,空穴浓度为1.57×1018cm-3。X光电子能谱(XPS)测试表明,铟元素已有效地掺入了ZnO薄膜中,且铟元素有效地促进了氮元素的掺入。紫外可见(UV)透射谱测试表明,在可见光范围内所有薄膜透光率均可达90%。
简二梅
叶志镇
刘暐昌
何海平
顾修全
朱丽萍
赵炳辉
关键词:
ZNO薄膜
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