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蒋峻
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合作作者
张晓兵
东南大学电子科学与工程学院
毛福明
东南大学
雷威
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显像管残余气体分析及离子轰击研究
2005年
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模拟研究,并对显像管电子枪进行优化设计.
张晓兵
蒋峻
毛福明
雷威
关键词:
残余气体
质谱分析
离子轰击
显像管残余气体分析及离子轰击研究
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模...
张晓兵
蒋峻
毛福明
雷威
关键词:
显像管
离子轰击
消气剂
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