赵劲松
- 作品数：3 被引量：42H指数：3
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 全息光栅制作中的实时潜像自监测技术被引量：21
- 2004年
- 介绍了一种实时监测全息光栅曝光过程的新方法。在曝光过程中 ,光刻胶折射率的空间分布发生微小变化 ,由此形成的潜像光栅同时对记录光束产生衍射 (自衍射 ) ,探测一个非零级次的衍射强度的变化就可对曝光过程实时监测。实验证明 ,这种技术能灵敏、客观地探测出样片之间由于个性差异所导致的最佳曝光量的漂移 ,制作者可以借此对曝光时间做实时补偿。发现自监测曲线之线性区的末端存在着一个明显的最佳曝光参考点 ,紧接其后是一个最佳曝光可选择区。采用了一个曝光模型 ,其模拟结果和实验中得到的自监测曲线能很好地吻合。理论分析证实 ,根据实时监测曲线的相对幅值来优化最佳曝光量的方法是很合理的 ,这种实时自监测是一种非常简单、能有效控制曝光量的技术。
- 赵劲松李立峰吴振华
- 关键词：全息光栅衍射光学元件物理光学
- 一种控制矩形光刻胶光栅槽深和占宽比的方法被引量：12
- 2004年
- 利用光刻胶的非线性效应可以制作出了矩形的全息光栅。制作矩形光栅时 ,对槽形的控制被简化为对槽深和占宽比这两个参量的控制。首先借助实时潜像监测技术获得最佳曝光量 ,然后根据显影监测曲线的特征找出光栅槽底的残胶厚度为零的显影时刻 ,就能得到槽底干净的矩形光栅 ,同时保证槽深近似等于光刻胶的初始厚度 ;如果此后继续显影 ,就能适度减小占宽比。实验结果和理论分析都证实了这种控制方法的可靠性。对 12 0 0lp/mm的光栅 ,目前工艺能精确调控的最大槽深为 1μm ,占宽比在 0 .2～ 0 .6范围内。实验还揭示 ,为了提高对光栅槽形的调控能力 ,必须首先提高干涉条纹的稳定性。
- 赵劲松李立峰吴振华
- 关键词：物理光学全息光栅掩模
- 全息光栅实时显影监测曲线的理论模拟被引量：26
- 2004年
- 在特定的工艺条件下 ,光刻胶的非线性效应非常显著 ;合理地利用非线性效应 ,能够制作出近似矩形的全息光栅掩模。为了分析清楚非线性效应对光栅沟槽成形的作用机理 ,有必要建立一个显影理论模型。模拟得到的光栅轮廓和实验样片的扫描电子显微镜照片结果很吻合。根据这个模型 ,进而使用光栅严格理论 ,得到其主要特征与实时监测实验曲线一致的理论模拟监测曲线。理论分析和实验证实 ,该模型基本表征了工艺条件对光栅沟槽形状的影响 ,并揭示了光刻胶呈现显著非线性效应时 ,必然对应着明暗条纹中心位置之间的显影刻蚀速率相差很大。这个模型为全息光栅的工艺研究提供了一个有效的理论分析工具。
- 赵劲松李立峰吴振华
- 关键词：物理光学全息光栅光刻胶
