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赵楷

作品数:2 被引量:7H指数:1
供职机构:中国科学院研究生院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇加速度
  • 2篇VERILO...
  • 1篇电路
  • 1篇电路研究
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇速度传感器
  • 1篇相关双采样
  • 1篇接口
  • 1篇开关电容
  • 1篇机械噪声
  • 1篇集成接口
  • 1篇寄生电容
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇加速度计
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS加速...
  • 1篇采样
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇赵楷
  • 1篇熊斌
  • 1篇车录锋

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2008
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究
MEMS电容式加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,在惯性导航、空间微重力测量及高精度勘探等等方面有着广泛的应用。采用体微机械加工技术和硅硅键合技术可以实现高性能的加速度传感器。但是全硅三明治结构电容式...
赵楷
关键词:电容式加速度传感器相关双采样
文献传递
基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型被引量:7
2008年
本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。
赵楷熊斌车录锋
关键词:MEMS加速度计寄生电容
共1页<1>
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