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郭俊辉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇罗茨
  • 1篇干泵

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇薛玉茹
  • 1篇张健
  • 1篇张振厚
  • 1篇刘在行
  • 1篇郭丽娟
  • 1篇张利国
  • 1篇赵洪吉
  • 1篇房伟
  • 1篇刘坤
  • 1篇秦柏林
  • 1篇郭俊辉
  • 1篇王光玉

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
罗茨干泵(机组)
张振厚王光玉秦柏林张利国薛玉茹刘坤张健赵洪吉刘在行郭丽娟郭俊辉房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备，由于技术门槛高，国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额，国内产品在工程化应用方面尚属于空白。　　罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为：　...
关键词：
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