郭超峰
- 作品数：9 被引量：6H指数：2
- 供职机构：华南师范大学物理与电信工程学院更多>>
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- 相关领域：理学核科学技术电子电信机械工程更多>>
- 低温等离子体化学气相沉积GaN薄膜
- 本文中实验采用金属有机物化学气相沉积方法制备GaN薄膜，在实验过程中，首先使用电子回旋共振等离子体技术，在反应室中产生了活性物种丰富的低温等离子体，利用磁场梯度的输运作用，在样品台的衬底上生长出GaN薄膜。
本文在...
- 郭超峰
- 关键词：氮化镓薄膜
- 文献传递
- 一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
- 本发明是一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统。包括有氮气气源供给系统(1)、若干个有机金属气源进出管路系统(2)、分别与若干个有机金属气源进出管路系统(2)连接的若干个流量控制系统(3)、压力控制系统(4)，本发明由于采用...
- 陈俊芳李炜孟然王辉郭超峰
- 文献传递
- 低温等离子体气相沉积氮化镓薄膜的光谱特性研究
- 2010年
- 采用低温等离子体增强化学气相沉积工艺，以氮气N2和三甲基镓（TMG）为反应气源，在蓝宝石衬底α—Al2O3的（0001）面上低温生长了GaN薄膜。薄膜光致发光光谱（PL）出现两个发光带，一个是中心位置位于364nm的锐而强的带边峰。另一个是中心波长在550nm（2．2eV），范围在480-700nm的强而宽的黄光发光带。傅立叶红外光谱（FTIR）观察到GaN的A1（LO）的下沿峰和E1（TO）峰，说明这是六方结构的OaN薄膜。
- 符斯列陈俊芳郭超峰
- 关键词：低温等离子体氮化镓薄膜FTIR光谱
- 等离子体辅助有机金属(CH_3)_3Ga化学气相沉积GaN薄膜
- 2010年
- 采用ECR等离子体辅助技术,融合化学气相沉积法,在450℃的相对低温条件下于Si(100)衬底上生长出GaN薄膜。对样品进行了XRD、FT-IR和AFM表征,并在制备过程中采集到反应室中N2-(CH3)3Ga等离子体的发射光谱。结果表明,所制备的多晶体GaN薄膜是由N2-(CH3)3Ga等离子体中的活性成分通过复杂的反应生成的,其生长过程符合岛状生长机制。
- 郭超峰陈俊芳符斯列薛永奇王燕邵士运赵益冉
- 关键词：化学气相沉积GAN
- 微波电子回旋共振等离子体放电特性研究被引量：3
- 2009年
- 为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响.结果表明:ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离和碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的N2+;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400 W),放电气压存在一个最佳值(P=0.07 Pa).
- 张洪宾陈俊芳符斯列郭超峰李炜黄孟祥
- 关键词：ECR等离子体发射光谱
- ECR-MOPECVD低温沉积GaN薄膜的研究
- 宽禁带直接带隙GaN蓝光薄膜材料,具有高亮度、低能耗,GaN材料激发的蓝光辐射和红光、绿光一起构成白光三基色,在平板显示、光存储、蓝光激光器和功率晶体管等光电子领域发挥广泛的应用。
- 陈俊芳李炜郭超峰王燕薛永奇
- 关键词：GAN薄膜
- 文献传递
- 一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
- 本发明是一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统。包括有氮气气源供给系统(1)、若干个有机金属气源进出管路系统(2)、分别与若干个有机金属气源进出管路系统(2)连接的若干个流量控制系统(3)、压力控制系统(4)，本发明由于采用...
- 陈俊芳李炜孟然王辉郭超峰
- 文献传递
- Si表面吸附GaN的第一性原理研究被引量：3
- 2009年
- 为了更好地了解Si表面对GaN的吸附,利用基于密度泛函理论的第一性原理平面波赝势方法,计算了Si(100)和Si(111)弛豫表面分别吸附GaN的电子结构、吸附能大小以及其态密度图。计算结果表明,相对于Si(111)表面,Si(100)表面更容易吸附GaN,在同等实验条件下,在Si(100)表面应更容易沉积GaN薄膜。采用ECR-MOPECVD工艺,于低温下在Si(100)衬底上沉积得到了GaN薄膜,XRD谱图表明该薄膜是一种晶体结构和无定形结构的混合结构。
- 李炜陈俊芳王腾张洪宾郭超峰
- 关键词：SIGAN第一性原理
- PECVD系统中的粒子几率密度分布研究
- 本论文中运用Langevin方程和Forkker-Planck方程,建立了一个等离子体系统内粒子传输的理论模型,研究在一个PECVD等离子体系统中,如何通过某些环境参数的变化来使得沿直管表面传输的粒子产生净流动。在我们的...
- 李炜陈俊芳张洪宾郭超峰
- 文献传递
