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金丽妍
作品数:
3
被引量:11
H指数:1
供职机构:
吉林大学电子科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
吉林省科委资助项目
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
孙良彦
吉林大学电子科学与工程学院
全宝富
吉林大学电子科学与工程学院
全海英
吉林大学电子科学与工程学院
戚金清
吉林大学电子科学与工程学院
孙承松
沈阳工业大学
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机构
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吉林大学
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作者
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全宝富
3篇
孙良彦
3篇
金丽妍
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戚金清
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第六届全国敏...
年份
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2000
2篇
1999
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3
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硅基热线式气敏元件及其特性
1999年
利用射频溅射在硅衬底上制作 Pt膜电极,以溶胶-凝胶法制作的低阻 SnO2为敏感层制成平面热线式气敏元件.研究了工艺条件、掺杂行为及其对气敏特性的影响.掺Sb(3% atm)及 Pt石棉(2% wt)在 700℃烧结 1. 5 h的元件对 H2、NH3灵敏度较高。
全宝富
金丽妍
金海英
孙良彦
孙承松
关键词:
气敏元件
硅
气敏特性
低阻SnO_2微粉的制备及其气敏特性
被引量:11
2000年
采用溶胶 -凝胶及共沉淀技术制备了低阻SnO2 微粉。利用XRD及SEM技术分析了SnO2 微粉的结构及形貌。利用这种低阻SnO2 制作的平面热线式气敏元件对H2 、NH3 具有较好的气敏特性。
全宝富
金丽妍
全海英
戚金清
孙良彦
关键词:
气敏特性
溶胶-凝胶法
硅基平面热线式NH<,3>敏元件的研究
液相掺Sb的化学共沉淀方法制备了SnO<,2>-Sb纳米微粉,以其为气敏基体材料加入一些适量的掺寻研磨成气敏浆料,涂于带有Pt膜电极的硅衬底片上,经700℃焙烧制成气敏元件,对H<,2>、C<...
全宝富
金丽妍
全海英
陈丽华
孙良彦
关键词:
半导体气敏元件
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