陈兴俊
- 作品数:10 被引量:18H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域:电子电信生物学自动化与计算机技术更多>>
- 底面对准曝光中的对准技术研究被引量:4
- 2002年
- 主要论述了底面对准光刻机的对准原理。
- 陈兴俊胡松姚汉民刘业异
- 关键词:光刻机底面对准工件台对准标记
- 生物芯片仪器研制
- 姚汉民胡松吴岚军唐小萍刘业异王理明赵立新张春野罗正全王肇志王淑蓉严佩英严伟闫献勇邢薇王珺徐文祥高钧何坤尧刘鸿林云生胡志成余国彬马平陈兴俊
- “生物芯片仪器研制”是中国科学院知识创新重大项目之一,该项目设置“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“生物芯片点样仪”、“CCD生物芯片检测仪”三个研发课题。项目瞄准国际发展趋势,创新研发了“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“CC...
- 关键词:
- 深层光刻机图像对准技术研究
- 掩模-样片对准是深层光刻机的三大核心技术(曝光系统、对准、工件台)之一,随着光刻技术的发展,对准精度的也不断地提高。目前国外先进的深层光学光刻机都采用视频图像对准技术,我们研制的深层光刻机也采用了这种技术。本文主要论述了...
- 陈兴俊
- 关键词:光刻设备图像处理CCD摄像机图像采集卡
- 文献传递
- 生物芯片扫描仪高速扫描台研究被引量:2
- 2002年
- 随着生物工程技术的不断发展,生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况,着重阐述了国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台,主要包括扫描台的结构、扫描原理、技术要求和如何实现这些要求以及扫描台控制的实现问题等。最后简要介绍了目前国内生物芯片检测仪的研究进展情况。
- 陈兴俊胡松姚汉民刘业异
- 关键词:生物芯片扫描仪基因
- 0.1μm线宽主流光刻设备—193nm(ArF)准分子激光光刻被引量:4
- 2002年
- 阐述了可实现 0 1μm线宽器件加工的几种候选光刻技术 ,对 193nm(ArF)准分子激光光刻技术作了较为详细的论述 ,指出其在 0 1μm技术段的重要作用 ,并提出了研制 193nm(ArF)光刻设备的一些设想。
- 陈兴俊胡松姚汉民刘业异
- 关键词:光学光刻光刻设备
- 深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用被引量:8
- 2002年
- 随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺。本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验结果表明深紫外光深度光刻具有很大的实用意义。
- 余国彬姚汉民胡松陈兴俊
- 关键词:微型机电系统微细加工
- 自发光蛋白芯片检测仪的设计
- 2004年
- 简要介绍了生物芯片的发展概况,生物芯片的基本概念和类型以及生物芯片的检测装置,详细介绍了一种新开发的生物芯片检测仪,主要论述了它的工作原理、光学系统、机械系统和软件系统的结构和功能以及整个仪器的性能要求,最后介绍了这种检测仪的功能和应用。
- 陈兴俊岑辉赵立新唐小萍胡松
- 关键词:生物芯片电荷耦合器件图像处理光学系统
- 光源步进扫描实现大面积光刻被引量:1
- 2003年
- 介绍了一种大面积接近、接触式光刻的新方法,通过光源步进拼接扫描提供一个高均匀度的大面积的照明光源。主要论述了小面积扫描单元的形状及步进扫描拼接原理、应用及其优点,分析了扫描面的不均匀度。
- 赵立新陈兴俊胡松刘业异
- 关键词:光源
- 共聚焦成像技术在生物芯片检测中的应用
- 共聚焦成像技术广泛应用于采集精细的荧光图像,在生物芯片技术领域,共聚焦成像技术用于生物芯片检测,能显著减少样本点以外的光的收集率,所以明显降低背景噪声,增大信噪比.与同类的CCD成像技术相比,共聚焦成像技术可以做到更大的...
- 赵立新胡松刘业异严伟罗正全王肇志陈兴俊
- 关键词:生物芯片信噪比灵敏度
- 文献传递
- 恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置
- 恒定光源步进扫描实现大面积光刻的方法,利用光源步进扫描,扫描单元为高均匀度、恒功率小光源,沿X方向扫描,沿Y方向步进拼接来实现,扫描单元的形状为一对锐角小于60度的平行四边形。恒定光源步进扫描实现大面积光刻的装置由电机、...
- 赵立新胡松王肇志陈兴俊
- 文献传递