韩丰田
- 作品数：88 被引量：203H指数：8
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防基础科研计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：交通运输工程机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 可变电容式静电电机的电子换相控制系统和控制方法
- 本发明涉及一种可变电容式静电电机的电子换相控制系统，其包括转速/转角检测单元、微控制器以及输出放大单元。另外，本发明还提供一种可变电容式静电电机的电子换相控制方法，其包括以下步骤：S1：施加驱动电压，转子在t<Sub>i...
- 韩丰田孙搏谦李林林刘天一
- 文献传递
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备方法
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备工艺，通过在加工过程中对三层式的悬浮微敏感结构引入牺牲层对微敏感悬浮质量块加以约束，采用铝质薄膜将悬浮微敏感结构和体硅连接在一起，以避免后续加工对悬浮结构的影响；在完成后再用湿法刻...
- 董景新王嫘韩丰田刘云峰
- 文献传递
- 基于 PC/AT 总线的步进电机控制卡的设计及应用被引量：4
- 1998年
- 提出一种基于ＰＣ／ＡＴ总线的三轴步进电机控制卡，讨论了其硬件组成原理及软件控制方法；在轴承套圈磨床数控系统中的使用结果表明，本文讨论的步进电机控制卡在灵活性、可靠性及易于使用等方面取得了令人满意的效果。
- 韩丰田侯伯杰阎恕忠
- 关键词：步进电机控制器PC/AT总线数控磨床
- 基于转台位置工作模式的静电陀螺伺服测试装置
- 本发明提出一种基于转台位置工作模式的静电陀螺伺服测试装置，包括：转台台体，用于装载陀螺仪；转台控制柜，以根据转台实时角位置偏差信号对转台台体的进行运动闭环控制；壳体翻滚控制电路，与陀螺仪壳体相连，以控制陀螺仪本体相对于陀...
- 李冬梅贺晓霞韩丰田李海霞谭巍
- 文献传递
- 数控系统中内嵌式PLC编程软件的实现被引量：10
- 1999年
- 为缩短内嵌式ＰＬＣ的开发周期，提高其通用性和扩充性，用Ｃ语言建立了内嵌式ＰＬＣ的集成编程环境．编程软件可以完成ＰＬＣ信号定义、系统设置和梯形图的编译，并形成一个完整的内嵌式ＰＬＣ模块．采用双向链表的数据结构来描述和记录梯形图的各种信息，以实现全屏幕编辑功能．
- 库祥臣韩丰田侯伯杰黄明生刘凯
- 关键词：数控系统内嵌式PLC编程软件程序控制器
- TMS320C31与MAX125 A/D转换器的接口设计及应用被引量：16
- 2003年
- 在描述MAX12 5A/D转换器的特点及工作原理的基础上 ,结合在静电悬浮控制系统中的应用 ,从硬件方面介绍了该芯片与TMS3 2 0C3 1的接口设计方法 ,并给出了数据采集过程采用定时中断方式的编程示例。
- 韩丰田杨俊霞付德报
- 关键词：TMS320C31MAX125A/D转换器接口设计数字信号处理器数据采集
- 基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术被引量：9
- 2008年
- 设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。
- 韩丰田吴秋平吴黎明董景新
- 关键词：体硅工艺
- 球面间隙大范围测量的建模与线性化研究被引量：2
- 2002年
- 有源静电悬浮轴承通过检测电极与转子间构成的球面间隙电容以得到转子位移。在转子起支时 ,要能实现球面间隙的大范围线性测量。本文重点推导了球面电容与球面间隙的非线性关系 ,提出了采用软件非线性校正的方法实现球面间隙大范围测量的线性化 ,使转子位移的线性测量范围可以达到标称间隙的 6 6 % ,满足了静电轴承起支过程的要求。
- 韩丰田高钟毓王永梁
- 关键词：微位移测量电容电桥非线性校正
- 静电悬浮球形转子的电场恒速方法被引量：6
- 2002年
- 针对静电悬浮球形转子在真空腔中存在转速衰减的问题,研究并改进了一种电场恒速方法。分析了偏心转子的侧向摆动现象及由此产生的不平衡信号的特性,给出了电场恒速力矩的计算公式和限制条件。在此基础上,提出了改进后的球形转子电场恒速控制系统的结构和动态模型。理论分析和计算结果表明:改进后的电场方法能够在不影响系统整体性能的前提下实现各项恒速控制的性能指标。
- 彭晓军高钟毓王永梁韩丰田
- 关键词：球形转子
- 带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置
- 本发明涉及微谐振系统技术领域，特别是涉及一种带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置。该带有片上温控的微谐振式加速度计包括微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载微谐振检测结构和加热结构的基底，加热结构沿微谐振检测结构的...
- 方政翔韩丰田尹永刚吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
