高延军
- 作品数：20 被引量：64H指数：5
- 供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划总装备部科研项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术机械工程更多>>
- 掺铒光纤损耗谱分析被引量：1
- 2003年
- 高延军张文华
- 关键词：掺铒光纤瑞利散射布里渊散射红外吸收
- 硅微通道列阵电化学微加工技术研究
- 该文采用P型单晶硅片,由热氧化形成SiO<,2>掩膜层,标准光刻工艺进行图形转移,用KOH溶液湿法刻蚀制作倒四棱锥腐蚀坑列阵.在三极电解槽中,进行了电化学深刻蚀的探索性实验.对氧化、光刻、湿法刻蚀和电化学刻蚀中的工艺问题...
- 高延军
- 关键词：湿法刻蚀单晶硅片
- 文献传递
- 利用电化学刻蚀工艺制备p型硅基大孔深通道阵列被引量：1
- 2008年
- 在自制的三极电解槽中,采用浓度不同的氢氟酸(HF)电解液在一定掺杂浓度的p型硅基上,研究了大孔深通道阵列的形成过程。通过一系列实验、电化学测试与分析,从理论上论述了p型大孔深通道阵列的形成微观机制,同时解释了电化学刻蚀反应与HF浓度的关系,指出了HF浓度决定电化学反应刻蚀的进行与否与样品质量的关键。提供了一种利用电化学刻蚀工艺制备p型大孔深通道阵列经济实用的方法,实验结果对其形成具有指导意义。
- 高延军端木庆铎王国政李野田景全
- 关键词：电子物理学电化学刻蚀氢氟酸
- 微通道板电子透射膜及其粒子透过特性的研究被引量：7
- 2005年
- 文中介绍了微光像管中微通道板电子透射膜及其形成技术,研究了粒子(电子和离子)透过特性.给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出了采用XPS进行成分分析的结果.介绍了电子透射膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题.
- 端木庆铎姜德龙田景全李野高延军王国政吴奎富丽晨
- 关键词：微通道板电子透射膜
- 硅微通道板像增强器的研究被引量：8
- 2008年
- 微通道板作为电子倍增器件可以对电子、离子、紫外和软X射线进行探测和成像。传统微通道板制备是采用玻璃纤维拉制和氢还原等技术，提出分别采用半导体体微加工和电化学腐蚀制备硅微通道板的新技术。在干法刻蚀中采用ICP技术制备了孔径为6～20μm、间隔4～8μm、长径比15-30的硅微通道板，初步试验结果为对于长径比为16的样品，电子增益为10°数量级。同时，开展了湿法电化学腐蚀技术制作硅微通道板的研究，分析讨论了电化学腐蚀微通道板的机理。结果表明，干法和湿法刻蚀技术可以制备高长径比硅微通道板，与ICP技术型比，电化学腐蚀具有较低的成本。
- 王国政李野高延军姜德龙付申成吴奎端木庆铎
- 关键词：微通道板微加工刻蚀硅像增强器
- 新一代二维通道电子倍增器的薄膜连续打拿极被引量：3
- 2006年
- 概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)及其特点以及MCP的新发展;介绍了材料的二次发射特性,给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺。在此基础上,重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器———先进技术微通道板(AT-MCP)的薄膜连续打拿极制备新技术,给出了具体工艺和实验结果,示出了电镜照片和实验曲线,指出了新工艺的优点和发展前景。
- 李野高延军王国政付申成吴奎姜德龙端木庆铎田景全
- 关键词：微通道板二次电子发射
- N型硅衬底上射频磁控溅射法制备氮化硼薄膜的研究
- 李鑫璐冯双王琦贺俊博刘秀环侯丽新高延军贾刚陈占国
- 介质多层膜热处理分析被引量：4
- 2005年
- 由薄膜压缩应力产生模型和薄膜总应力的组成出发,分析了要改变薄膜的本征应力热处理必须有足够的能量即激活能.当热处理能量低于激活能时,只能改变薄膜热应力,与处理时间无关.热应力与处理温度有线性关系,建立了波长变化量与温度变化量间的关系模型.当热处理能量高于激活能时,本征应力改变,进而波长的改变与时间有关.实验结果表明,从200～300℃的各1,2,5 h保温处理下,波长从1.4 nm线性地增大到4.15 nm,波长变化与处理时间无关.在350℃分别进行1,2,5 h的处理情况下,波长的改变量分别为4.75 nm,5.07 nm,5.7 nm.保温时间短的,波长增量也小.400℃各种处理时,波长的改变基本上与350℃的处理结果类似.充分说明了在较低温度处理时,薄膜应力只有热应力的改变;较高温度处理时,本征应力才会改变.
- 王成高延军肖孟超张贵彦钱龙生
- 关键词：光学薄膜热应力
- 二维电子倍增器及其新技术研究
- 微光夜视技术拓展了人眼的视觉范围,自上个世纪中期以来得到了迅猛的发展。新思想、新概念、新材料、新工艺和新技术的不断涌现,推动着夜视器件与技术的发展。由于光电子技术的需求牵引,二维电子倍增器件得到了很快的发展,其中微通道板...
- 高延军
- 关键词：微通道板微加工微球板
- 文献传递
- 一种基于小波相位信息的低强度X射线影像系统的图像去噪方法被引量：9
- 2004年
- 新型低强度X射线影像系统主要是由平板式单近贴静电聚焦X射线像增强器和CCD数据采集系统构成 .文章简述了低强度X射线影像系统的图像噪声来源和特点 ,并根据图像噪声的特点 ,先进行多帧叠加平均预处理 ,再进行小波变换滤波 .区别于传统的小波变换方法 ,引入小波变换的相位信息概念 ,根据噪声和图像信息小波变换后的相位不同特点 ,从局部和相邻尺度两方面联合进行噪声自动判别和滤除 .小波反变换后 ,得到输出图像 ,通过对峰值信噪比的计算 。
- 但唐仁田景全端木庆铎李野高延军
- 关键词：X射线小波变换相位
