代雷
- 作品数：42 被引量：114H指数：8
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>
- 三坐标测量曲率半径误差评价的新方法研究被引量：10
- 2016年
- 曲率半径检测是光学加工工艺流程中最基本的检测内容之一,为了克服传统三坐标测量曲率半径的测量策略测量误差无法定量评估的问题,将病态矩阵理论与三坐标检测曲率半径算法相结合,提出了基于IC值的三坐标检测曲率半径测量策略误差评估新方法。首先分析了三坐标测量曲率半径的测量模型以及误差产生原因,然后利用病态矩阵理论评价该测量模型的病态程度,在此基础上提出了一种评价三坐标测量模型病态程度的判据算法,并且进行了相关算法的验证。在仿真及实验均验证其准确性和有效性的基础上,利用该方法对三坐标检测曲率半径的三环法进行测量策略优化。结果表明:常规测量将中环放在上下环中间位置的做法是测量误差最大的一种方法,中环的位置越靠近球冠顶点,其测量结果的精度越高。分析结果对制定光学元件曲率半径测量的测量策略具有一定的指导意义。
- 王东方李全松贾鹏代雷
- 关键词：病态矩阵
- 基于OpenCV视觉库的ESPI图像增强技术研究被引量：12
- 2013年
- 针对ESPI条纹图像富含散斑噪声的特点,提出了一种有效的ESPI图像增强技术。阐述了ESPI测量的原理,基于OpenCV开源计算机视觉库,采用偏微分方程的图像滤波方法,离散化PM扩散模型进行滤波处理,并使用灰度直方图均衡化方法提高ESPI条纹图像对比度,最终得到利于相位计算的清晰ESPI条纹图像。提出采用保真度与对比度对ESPI条纹图像增强的量化评估方法,原理分析和实验表明该方法有效降低散斑噪声并保留条纹的边缘信息,提高散斑图像的对比度,具有较强的实用性。
- 代雷吴迪张健
- 关键词：OPENCVESPI图像增强偏微分方程
- 抗振动大尺寸直径精密在线测量方法
- 抗振动大尺寸直径精密在线测量方法。用于在有强烈振动条件下的大直径钢管的自动测量，可实现高速在线非接触检测，其抗振动性能好、测量精度高。该方法采用两台高分辨率高速度线阵CCD相机，两台相机成光轴中线夹角90度放置，两相机的...
- 刘文耀王晋疆裘稀石代雷
- 一种光学自由曲面磨削成型方法
- 本发明公开了一种光学自由曲面磨削成型方法，采用数控磨削加工中心与球形砂轮进行磨削成型，S1：将设计的目标曲面采用点云矩阵进行描述，得点云设计矩阵M<Sub>design</Sub>；S2：依据所述点云设计矩阵M<Sub>...
- 代雷崔庆龙徐乐隋永新杨怀江闫丰
- 文献传递
- 轴对称光学非球面面形在线测量方法
- 轴对称光学非球面面形在线测量方法，涉及光学加工领域，解决了现有测量方法存在的工件需要重新定位、测量精度低、成本高的问题。该方法为：规划待测元件角速度、在线测高仪沿非球面母线运行速度和采样时间，生成螺旋线采样点空间坐标矩阵...
- 代雷闫丰张健隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法
- 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法属于测量技术领域，检测方法如下步骤：安装装置，条纹判读，检测被测元件是否满足于要求；如果不满足，驱动调节装置，最终调节到干涉条纹为理想条纹且干涉条纹数目合适，程序结束。本...
- 代雷隋永新杨怀江王高文王飞
- 轴对称光学非球面面形在线测量方法
- 轴对称光学非球面面形在线测量方法，涉及光学加工领域，解决了现有测量方法存在的工件需要重新定位、测量精度低、成本高的问题。该方法为：规划待测元件角速度、在线测高仪沿非球面母线运行速度和采样时间，生成螺旋线采样点空间坐标矩阵...
- 代雷闫丰张健隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种双柔性自适应抛光磨头
- 本发明的一种双柔性自适应抛光磨头属于光学冷加工技术领域，目的在于解决现有技术中存在的抛光磨头表面与工件表面不匹配的问题，提高抛光质量。包括抛光主轴、连接法兰、弹簧、紧固螺栓、刚性基底、柔性层、刚性层和抛光层；所述抛光主轴...
- 张健代雷马占龙王立鹏谷勇强隋永新杨怀江
- 文献传递
- 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
- 2016年
- 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。
- 张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军
- 关键词：氟化钙投影光刻物镜
- 小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差被引量：15
- 2013年
- 研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差,并使用计算全息(CGH)进行面形检测,直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150mm、最大偏离度为0.183mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制,面形方均根值(RMS)从预抛光后的76nm收敛至4.5nm;相应地,Zernike残差RMS由精抛后的22.72nm收敛至3.46nm。实验结果表明,该方法可以实现非球面中频误差的快速有效抑制。
- 张健代雷王飞王立朋
- 关键词：光学制造非球面
