凌磊
- 作品数：34 被引量：138H指数：8
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 准分子激光光束均匀性的评价指标研究被引量：8
- 2004年
- 详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标 ,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求 ;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题 ;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较 ,蝇眼透镜均匀器能量利用率高 ,整个光斑内的均匀效果好 ,但最佳均匀截面的位置动态范围小 ;组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大 。
- 李红霞楼祺洪叶震寰董景星魏运荣凌磊
- 关键词：准分子激光光束均匀性
- 紫外激光刻蚀氧化锆陶瓷初步研究
- 2002年
- 描述了KrF准分子激光对氧化锆陶瓷的微刻蚀实验,研究了脉冲刻蚀深度与脉冲数的关系(刻蚀速率),刻蚀的槽的形貌,并进行了刻蚀小孔的初步研究,得到直径为40μm,深度为25μm的微孔矩阵。为KrF激光对该材料的加工提供实验数据。
- 凌磊楼祺洪叶震寰董景星魏运荣
- 关键词：紫外激光准分子激光刻蚀氧化锆陶瓷
- 水浴条件下YAG倍频、三倍频激光切割Si片比较被引量：2
- 2005年
- 对Nd∶YAG固体激光器倍频、三倍频激光输出在空气和水浴环境下刻蚀Si片进行了研究,分析了刻蚀速率和样品表面形貌,得出了在355nm刻蚀波长下,水浴环境中,刻蚀速率最快,刻槽宽度最小,小于10μm的实验结论。
- 凌磊楼祺洪李抒智叶震寰马海霞董景星
- 关键词：水浴
- 紫外吸收有机薄膜压缩激光脉宽的方法
- 一种紫外吸收有机薄膜压缩激光脉宽的方法，该方法的实质是紫外脉冲激光聚焦在对紫外光吸收的有机薄膜上，产生的等离子体对激光本身吸收和散射，对激光脉宽进行压缩。本方法实施时，装置结构简单，操作方便。该方法可通过改变薄膜的厚度和...
- 楼祺洪叶震寰董景星魏运荣凌磊
- 文献传递
- 激光直接刻蚀制作软边光阑的方法
- 一种激光直接刻蚀制作软边光阑的方法，主要是通过计算机编程、绘图、转换成矢量图、输入振镜控制软件，最终通过振镜系统控制光纤激光器的激光束在载物平台上的软边光阑材料上扫描，直接刻蚀出软边光阑。本发明利用了计算机编程绘图的灵活...
- 凌磊楼祺洪漆云凤叶震寰董景星
- 文献传递
- 反射蝇眼式光束均匀器
- 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n<Sup>2</Sup> (n为正整数)小块方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与...
- 叶震寰楼祺洪董景星魏运荣凌磊
- 文献传递
- 单端抽运国产D形双包层光纤激光器实现输出功率200W被引量：16
- 2004年
- 楼祺洪周军朱健强孔令峰薛冬吴中林董景星魏运荣叶震寰凌磊王之江李进延李诗愈
- 关键词：掺镱双包层光纤激光器输出功率F-P腔
- 紫外吸收有机薄膜压缩激光脉宽的方法
- 一种紫外吸收有机薄膜压缩激光脉宽的方法，该方法的实质是紫外脉冲激光聚焦在对紫外光吸收的有机薄膜上，产生的等离子体对激光本身吸收和散射，对激光脉宽进行压缩。本方法实施时，装置结构简单，操作方便。该方法可通过改变薄膜的厚度和...
- 楼祺洪叶震寰董景星魏运荣凌磊
- 文献传递
- 紫外激光刻蚀多层线路板初步研究被引量：13
- 2003年
- 描述了固体倍频紫外激光在 35 5nm和 2 6 6nm ,不同聚焦透镜实验条件下 ,对多层电路板的微刻蚀实验 ,进行了其传热一维模型的理论推导 ,并得到了在实验条件下最佳的理论参数为波长 2 6 6nm ,峰值功率大于 2× 10 6J/s ,聚焦透镜焦距为 2 0 0mm 。
- 凌磊楼祺洪叶震寰董景星魏运荣
- 关键词：激光技术紫外激光刻蚀多层线路板
- 高压水浴激光消融和加工方法
- 一种高压水浴激光消融和加工方法，其特征在于该方法包括下列步骤：将工件放入盛水容器中，水面高出工件顶面1－10毫米；调整容器水面压力为5－6个大气压；再进行激光消融和加工。本发明的高压水浴激光消融和加工方法，不仅能改善更微...
- 凌磊楼祺洪叶震寰董景星魏运荣
- 文献传递
