刘明华
- 作品数：65 被引量：36H指数：4
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院科研装备研制项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
- 用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析
- 1引言随着科学技术的发展,人们对环境中有毒气体的检测越来越重视。基于声表面波(SAW)模式的气体传感器以其灵敏度高、选择性好、响应快、体积小、成本低等特点受到了广泛的关注和研究。
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 文献传递
- 用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析
- 随着科学技术的发展，人们对环境中有毒气体的检测越来越重视。基于声表面波（SAW）模式的气体传感器以其灵敏度高、选择性好、响应快、体积小、成本低等特点受到了广泛的关注和研究。本文研制了一种基于两端对谐振器的应用于气体传感器...
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词：气体传感器声表面波振荡器
- 文献传递
- 一种基于剪切型声表面波陀螺效应的角速率传感器
- 本文研制了一种80MHz SH-SAW角速率传感器。具有单向结构的双延迟线反向设置于同一基片作为振荡器的反馈单元。利用精确旋转台系统对传感器性能进行了初步评价。
- 王文李顺洲刘明华
- 关键词：角速率传感器陀螺效应
- 覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器响应机理分析
- 本文采用Martin理论和摄动法分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的FPOL膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响,...
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词：声表面波气体传感器优化设计
- 文献传递
- 谐振式检测器指条厚度对质量型声表面波传感器灵敏度的影响被引量：2
- 2019年
- 研究了谐振器指条厚度对质量型声表面波传感器灵敏度的影响.利用耦合模方程推导出耦合模参量与周期栅阵禁带边界频率的关系,结合有限元及P矩阵模型,获得了声表面波传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。制备3种不同铝指条厚度(1600?,1900?,3100?)的声表面波谐振器,通过对其表面中心区域沉积SiO_2层验证了计算结果。结果表明:采用ST-X石英基底的声表面波谐振器对SiO_2负载检测时,传感器的灵敏度随铝指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化指条厚度为1.9%。分析表明,指条厚度对传感器灵敏度的影响主要来自于传播速度和耦合系数的共同作用,通过优化指条厚度的方法可改善传感器的灵敏度.
- 郝文昌王藉秋刘久玲刘明华梁勇何世堂
- 关键词：声表面波谐振器传感器灵敏度质量型厚度检测器谐振式
- 用于气体传感器的SAW谐振型振荡器系统
- 本发明涉及一种用于气体传感器的SAW谐振型振荡器系统，包括SAW振荡器和混频电路；所述的SAW振荡器为两组，且该两组采用铝/金电极的具有单一谐振模式和高Q值的两端对SAW谐振器制作在同一压电基片上；所述的SAW振荡器包括...
- 王文何世堂谢晓刘明华李顺洲
- 文献传递
- 声表面波气相色谱仪及其应用被引量：9
- 2018年
- 声表面波气相色谱仪具有灵敏度高、色谱柱升温速度快(~20?C/s)、体积小等特点,可实现痕量气体的广谱(挥发和半挥发性有机物)、快速(<5 min)、高灵敏度(ppb～ppt级)现场分析,在公共安全、环境监测、食品和药品检测等方面有广阔的应用前景。该文从仪器响应的机理分析、检测器设计、仪器研制及应用等方面出发介绍了我们的研究进展情况。
- 何世堂刘久玲刘明华邵剑瑛
- 关键词：声表面波气相色谱传感器
- 应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器
- 2013年
- 为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2．5mm金属薄层构成。谐振器采用铝／金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模（COM）理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果，实验研制了基于300MHz频率的新型铝／金电极SAW两端对谐振器，测试结果显示所研制器件具有较低损耗（〈7dB），较高Q值（-3000）以及单一谐振模式的特点，并且，以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度（t15Hz／h），这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。
- 王文谢晓邵秀婷刘明华何世堂
- 关键词：声表面波谐振器气体传感器金电极单模式频率稳定度铝
- 退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响被引量：3
- 2019年
- 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看,退火温度为200?C时,得到的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。
- 王剑安燕刘明华刘久玲何世堂
- 关键词：声表面波粗糙度退火温度传感器
- 一种检测呼气中毒品含量的方法和装置
- 本发明提供了一种检测呼气中毒品含量的装置和方法，所述装置包括：气袋、进样装置、声表面波气相色谱仪；其中，所述气袋设置有气袋接口，用于收集和存储受检人呼气；进样装置，用于连接存储有所述呼气的所述气袋和所述声表面波气相色谱仪...
- 何世堂郝俊杰刘明华
- 文献传递
