刘显明
- 作品数：12 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省青年科技基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种基于自混合效应调谐激光器输出波长的方法
- 一种基于自混合效应调谐激光器输出波长的方法，属于光电工程技术领域。本调谐方法是：通过外置反射镜，将激光器输出光反馈回激光器。利用半导体激光器的自混合效应，通过改变反馈光强度实现激光器输出波长的调谐。控制后向反馈光强度的方...
- 李斌成曲哲超刘显明韩艳玲
- 文献传递
- 调制自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数的三维理论被引量：3
- 2008年
- 推导出用于测量半导体载流子输运特性(载流子寿命、载流子扩散系数和前表面复合速度)的调制自由载流子吸收(modulatedfree carrier absorption,MFCA)检测技术的三维理论模型,给出了调制自由载流子吸收检测信号与调制频率和抽运-探测光相对距离的关系.定性分析了在不同调制频率时各个载流子输运参数对径向位置扫描曲线(信号与两束光相对距离的关系)的影响,结果表明调制自由载流子吸收检测信号对各个参数的灵敏度随抽运-探测光相对距离的增加而增加.仿真和实验结果表明,通过拟合不同调制频率时调制自由载流子吸收信号的径向位置扫描曲线能精确确定半导体材料的载流子输运特性.
- 张希仁李斌成刘显明
- 一种半导体材料特性的测量装置
- 本发明公开了一种半导体材料特性的测量装置及方法，用于测量半导体材料的特性参数以及对材料加工品质的评价，在测试系统中仅由一束激发光和一束探测光来，可同时或分别取得样品的光载流子辐射测量信号、自由载流子吸收测量信号以及光调制...
- 李斌成刘显明黄秋萍韩艳玲
- 文献传递
- 一种测量半导体掺杂浓度的方法
- 一种测量半导体掺杂浓度的方法，其特征在于：在同一测试系统中集成了光载流子辐射测量技术和自由载流子吸收测量技术，同时获得自由载流子的复合辐射信号与吸收信号；通过改变激发光的调制频率，得到频域的载流子辐射信号和吸收信号；通过...
- 李斌成刘显明
- 文献传递
- 一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法
- 一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法，用于测量半导体材料特征参数和监控掺杂等工艺过程。基于半导体材料对强度周期性调制的激励光的吸收，在同一套测试系统中同时获得自由载流子吸收信号和光调制反射信号；通过改变激励光...
- 李斌成黄秋萍刘显明韩艳玲
- 文献传递
- 离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究
- 介绍了光载流子辐射测量技术在离子注入剂量测量方面的应用，以11B+和31P+离子注入硅片为例分析了信号随注入剂量的关系。
- 刘显明李斌成张希仁
- 关键词：半导体材料
- 文献传递
- 离子注入硅片快速退火后的红外椭偏光谱研究
- 2010年
- 离子注入硅片经高温退火后晶体结构缺陷会被修复,其在可见光波段下的光学性质趋于单晶硅,常规的可见光椭偏光谱法对掺杂影响的测量不再有效.本研究将测量波段扩展到红外区域(2—20μm),报道了利用红外椭偏光谱法测量经离子注入掺杂并高温退火的硅片掺杂层光学和电学性质的方法和结果.通过建立基于Drude自由载流子吸收的等效光学模型,得到了杂质激活后掺杂层的杂质浓度分布、电阻率和载流子迁移率等电学参数,以及掺杂层的红外光学常数色散关系,分析了这些参数随注入剂量的关系并对其物理机理给予了解释.研究表明,中远红外椭偏测量是表征退火硅片的有效方法,且测量波长越长,所能分辨的掺杂浓度越低.
- 刘显明李斌成高卫东韩艳玲
- 关键词：离子注入色散关系
- 一种基于自混合效应调谐激光器输出波长的方法
- 一种基于自混合效应调谐激光器输出波长的方法，属于光电工程技术领域。本调谐方法是：通过外置反射镜，将激光器输出光反馈回激光器。利用半导体激光器的自混合效应，通过改变反馈光强度实现激光器输出波长的调谐。控制后向反馈光强度的方...
- 李斌成曲哲超刘显明韩艳玲
- 文献传递
- 一种测量半导体掺杂浓度的方法
- 一种测量半导体掺杂浓度的方法，其特征在于：在同一测试系统中集成了光载流子辐射测量技术和自由载流子吸收测量技术，同时获得自由载流子的复合辐射信号与吸收信号；通过改变激发光的调制频率，得到频域的载流子辐射信号和吸收信号；通过...
- 李斌成刘显明
- 文献传递
- 一种半导体材料特性的测量装置及测量方法
- 本发明公开了一种半导体材料特性的测量装置及方法，用于测量半导体材料的特性参数以及对材料加工品质的评价，在测试系统中仅由一束激发光和一束探测光来，可同时或分别取得样品的光载流子辐射测量信号、自由载流子吸收测量信号以及光调制...
- 李斌成刘显明黄秋萍韩艳玲
- 文献传递
