孙振杰
- 作品数：5 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信经济管理化学工程更多>>
- 化学机械抛光(CMP)过程中抛光盘温度控制的分析研究被引量：5
- 2011年
- 在化学机械抛光(CMP)过程中,温度是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的温度控制方法,把温度控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。通过化学机械抛光机理分析阐述了抛光过程中热量产生的根源,介绍了一种温度控制系统的设计原理,并通过抛光实验验证并说明了温度控制的必要性。
- 孙振杰刘涛费玖海
- 关键词：温度控制
- 基于历史销售数据的预测分析被引量：3
- 2016年
- 预测是决策的前提,科学预测是正确决策的依据。在生产计划与控制中,市场需求预测分析是制定生产计划的科学依据。回归分析是应用较广的预测分析方法之一,通过对历史销售数据的研究与分析,推测未来一段时间的变化趋势,制定切实可行的生产计划,可有效降低产品库存积压或因投产不足造成的缺货损失。
- 王君锋孙振杰
- 蓝宝石抛光去除率试验的正交设计方法
- 2012年
- 影响蓝宝石抛光去除率的因子有很多,为了得到最佳工艺流程和工艺参数组合,实际工作中需要在诸多影响因素中找出对去除率影响最显著的因子,并以拟合方程的形式来建立数学模型。探讨了运用正交试验的方法,通过MINITAB软件对试验数据进行分析,从而了解各抛光参数对抛光去除率的影响,最终确定一组最优的工艺参数。
- 孙振杰费玖海刘涛
- 关键词：正交试验去除率
- 最小二乘法在抛光设备压力控制中的应用
- 2014年
- 在化学机械抛光(CMP)过程中,压力是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的压力控制方法,把压力控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。运用最小二乘法拟合曲线的算法实现压力值精确控制的设计方法,并通过MINITAB仿真及抛光实验验证其可行性。
- 孙振杰王君锋程启忠
- 关键词：最小二乘法压力控制
- 蠕动泵原理及在化学机械抛光过程中的应用被引量：10
- 2010年
- 主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势。详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项。
- 高慧莹刘涛孙振杰
- 关键词：蠕动泵化学机械抛光泵头
