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孙旭明
作品数:
24
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
一般工业技术
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电子电信
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合作作者
张海霞
北京大学信息科学技术学院微米纳...
韩梦迪
北京大学
刘雯
北京大学
孟博
北京大学
张晓升
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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一种使柔性材料层表面平坦化的方法
本发明公开了一种使柔性材料层表面平坦化的方法,所述柔性材料层生长于器件表面,首先根据柔性材料层所覆盖的器件表面的凹凸结构制备硬质模版;然后将该模版置于柔性材料层上,使二者对准、紧密接触并固定,在模版的图形区域柔性材料层上...
张海霞
唐伟
孙旭明
王子然
彭旭华
孟博
文献传递
开启微纳传感领域的新天地——Transducers 2011国际会议综述
2011年
2011年6月5日至9日,第16届国际固态传感器、执行器与微系统会议(Transducers'11)在北京国家会议中心隆重召开。此次会议设有微纳传感器、微加工技术、生物、微能源等12个专题,共录用743篇文章,吸引了来自世界各地的1200多位专家、学者。本文将从大会特邀报告、微流体技术、圆片级加工技术、化学传感器、微能源装置等角度详细介绍此次会议的盛况,分析相关领域的研究现状及发展趋势,并对会议的影响进行总结和阐述。
孙旭明
朱福运
唐伟
张晓升
袁泉
张海霞
关键词:
MEMS
新型传感器
微系统
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤:(A)衬底上生长柔性薄膜;任选的(A1)在薄膜上溅射种子层,电镀磁性材料,生长柔性薄膜;任选的(A2)溅射种子层;(B)电镀线圈;(C)电镀磁芯;任选的步骤(C1...
张海霞
孙旭明
郑阳
李忠亮
文献传递
一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法
本发明涉及一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法,所述方法包括步骤1:从已有纳米摩擦发电机中取出易得电子的摩擦材料层;步骤2:对等离子体设备进行初始化和等离子体稳定,以使等离子体辉光放电;步骤3:调控等离子体设备工艺参数,采...
张海霞
张晓升
韩梦迪
孟博
朱福运
孙旭明
刘雯
文献传递
一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统
本发明涉及一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统,所述系统包括:纳米摩擦发电机、控制电路和显示单元,其中,纳米摩擦发电机的上下电极板通过导线与控制电路和显示单元进行连接。本发明利用纳米摩擦发电机输出特性随环境湿...
张海霞
张晓升
韩梦迪
孟博
朱福运
孙旭明
刘雯
文献传递
一种使柔性材料层表面平坦化的方法
本发明公开了一种使柔性材料层表面平坦化的方法,所述柔性材料层生长于器件表面,首先根据柔性材料层所覆盖的器件表面的凹凸结构制备硬质模版;然后将该模版置于柔性材料层上,使二者对准、紧密接触并固定,在模版的图形区域柔性材料层上...
张海霞
唐伟
孙旭明
王子然
彭旭华
孟博
文献传递
一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法
本发明涉及微纳加工领域,特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感,和折叠之前相比,性能有明显提升;和传统工艺制备的三维立体电感相比,具有工艺步骤简单,...
张海霞
郑阳
孙旭明
李忠亮
文献传递
一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法
本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法,该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例,从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工...
张海霞
李忠亮
孙旭明
郑阳
文献传递
一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法
本发明涉及MEMS集成加工技术领域,特别涉及一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法,通过两组相同结构相对、相互水平摩擦组成,其中,所述结构包含五层,最外层为导电层,与导电层相邻的为薄膜层,薄膜层另一侧设有薄膜纳米...
张海霞
刘雯
韩梦迪
孙旭明
孟博
文献传递
一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法
本发明涉及微纳加工领域,特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感,和折叠之前相比,性能有明显提升;和传统工艺制备的三维立体电感相比,具有工艺步骤简单,...
张海霞
郑阳
孙旭明
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