- 多孔质静压气体轴承设计(下)被引量：1
- 1989年
- 一、静压轴颈轴承设计多孔质静压气体轴颈轴承结构尺寸示意图如图10所示,同静压滑动止推轴承一样,假定忽略多孔质材料的内部阻抗,并假定只有内孔进行过阻塞处理,因此具有节流作用。轴承各部分尺寸标于图上并假设轴承有效长度2L,直径D=2R,轴承半径方向间隙C_r,轴的偏心率ε。图11(a)、(b)中给出了长径比L/R=1的气体轴承在供气压力比p_s/p_a=4,10两种不同值时的承载能力曲线,图的横轴为供气系数的二分之一(r_3/2)。
- 徐丰仁
- 关键词：静压轴承空气轴承轴承
- 精密工作台气体静压轴承的有限元分析被引量：4
- 1989年
- 一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支承排入大气,不污染环境和光电器件,不必采用专门的密封装置,适用于大规模集成电路制造中的工艺条件,所以是图形发生器,光刻机,铭版机,
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：静压轴承有限元分析气体工作台
- 粗糙表面气体静压润滑轴承的研究
- 本文采用平均流量模型,导出粗糙表面气体静压润滑轴承平均雷诺方程, 将全膜润滑、部分膜润滑以及光滑表面、粗糙表面统一描述。然后运用等参有限元伽辽金法求解,分析了表面波度、粗糙度对轴承特性的影响,得出了对轴承设计、加工有益的...
- 潘晋沈钊徐丰仁
- 关键词：气体轴承静压润滑有限元
- 文献传递
- 精密工作台气体静压轴承的理论分析
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：光刻机刚度静压气体轴承工作台(机床)
- 电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制
- 1989年
- 为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验。
- 张翠林徐丰仁傅小艺李友勤
- 关键词：电子束曝光机工件台
- 自吸式气体支承动特性的分析被引量：1
- 1992年
- 自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支承的静态特性,本文的目的在于导出支承动特性的分析方法,从而为气体静压支承的设计提供依据。
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：自吸式工作台集成电路
- 自吸式气体支承静特性的研究被引量：2
- 1990年
- 绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,适应环境能力强;(4)正常工作时,磨损小、寿命长;(5)清洁度高。且气体可由支承排入大气。
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：电子束曝光机自吸式
- 空气静压丝杠的研制
- 徐丰仁沈钊安旭
- 关键词：承载力频率响应丝杠光刻机
- 精密工作台气体静压轴承动特性研究
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：静压气体轴承工作区动态性能精密机械
- 粗糙表面气体静压润滑轴承的研究
- 潘晋沈钊徐丰仁
- 关键词：表面粗糙率有限元分析静压气体轴承雷诺方程
