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慈连鳌

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离子束
  • 1篇半导体
  • 1篇磁控溅射靶

机构

  • 1篇东北师范大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇关奎之
  • 1篇慈连鳌

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
JGP-600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制被引量：5
1997年
本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置是一台先进的半导体工艺设备，７５ｍｍ样品的膜厚均匀度不大于５％。
关奎之张世伟慈连鳌康虹
关键词：磁控溅射靶离子束半导体
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共1页<1>
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