李国俊
- 作品数：22 被引量：40H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 基于负性光刻胶和掩膜移动曝光工艺的微透镜阵列制备方法
- 本发明提供一种基于负性光刻胶和掩膜移动曝光工艺的微透镜阵列制备方法，其主要工艺流程包括：选取基片，涂覆负性光刻胶，对基片先进行无掩膜曝光，再进行掩膜移动曝光、后烘和显影工艺获得微透镜阵列的光刻胶图形，最后采用干法刻蚀将光...
- 岳衢李国俊潘丽邱传凯周崇喜李飞
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- 一种提高分立式微变形镜填充因子的方法
- 本发明公开了一种提高分立式微变形镜填充因子的方法，包括一个微缩束镜阵列和一个分立式微变形镜。其特征在于微缩束镜阵列与分立式微变形镜具有相同的单元间距，入射光经过微缩束镜阵列之后被分割并缩束，形成一个光斑阵列，再入射到变形...
- 汪为民周崇喜李国俊王强邱传凯岳衢
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- 一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法
- 本发明涉及一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法，该人工电磁材料是由金属-掺杂介质-金属三层结构组成的微纳米图形结构，可用于红外、太赫兹波段。其制作方法包括：选择绝缘硅，利用沉积、粘结、干法刻蚀、湿法腐蚀、再沉...
- 邱传凯胡承刚岳衢张铁军李国俊罗先刚潘丽李飞
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- 一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件
- 本发明公开了一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，该器件由多个完全相同的单元以一定的规则排列在衬底表面而形成。所述的单元包括支撑柱、镜面和电极。支撑柱起到支撑镜面的作用，镜面中部下方与支撑柱相连，四周边缘悬空。电极...
- 王强汪为民杨欢方亮张辉李国俊
- 超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能被引量：6
- 2010年
- 研究了超高斯相位型光瞳滤波器的轴向超分辨性能。通过数值模拟,使用新的参数T,w讨论确定了三区二元相位型光瞳滤波器的超分辨区域。将超高斯相位型与二元相位型滤波器对比,分析相同参数下两种光瞳滤波器的轴向超分辨能力,进而讨论超高斯相位型滤波器的轴向超分辨性能随其阶数的变化关系。超高斯型滤波器与相位型相比,超分辨能力略有降低,但其旁瓣能量也有所降低,因此能量利用率有所提高。
- 何毅张雨东李国俊王炯罗先刚
- 关键词：成像系统超分辨滤波器超高斯
- 衍射型激光扩束器的保真度研究被引量：7
- 2014年
- 针对传统的二次非球面折射型激光扩束器存在不易加工、装调困难、体积大、重量大,特别是难以获得高填充比阵列透镜等不足,提出了一种利用衍射型台阶化面型近似二次非球面的激光扩束器方案,结果表明：对于典型的束腰半径为2mm的高斯光束,衍射型激光扩束器可实现2.8倍的理论扩束比。为了保持扩束过程中激光模式的稳定性,提出了不同区域给定不同台阶数的两类复合结构,解决了扩束过程中保真度和二元衍射元件加工特征尺寸无法同时满足的问题,改进后的系统保真度达95.82%,各区域最小光刻线宽均大于2μm,能够满足现有光刻加工技术要求。对影响系统保真度主要误差的分析结果表明：离轴误差在-1~1mm,目镜和物镜倾斜误差分别小于0.1mm和1.68mm时,系统保真度仍大于95%,方便装调。
- 龚海龙刘志辉李国俊方亮周崇喜
- 关键词：衍射保真度
- 一种基于平面金属条的光波导及其制备方法
- 本发明提供一种基于平面金属条的光波导及其制备方法，其结构特征包括掺杂硅层及其上加工的平面金属条。制作流程包括：选择合适的绝缘硅(SOI)，在掺杂硅表面沉积一层金属膜，再在金属膜表面涂覆抗蚀剂，利用紫外纳米压印技术在抗蚀剂...
- 李国俊潘丽胡承刚邱传凯李飞罗先刚周崇喜岳衢
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- 一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法
- 本发明提供一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法，该纳米针孔制作于硅基悬空的金属薄膜上。其制作流程包括：选取双面抛光硅片，在硅片的上表面沉积金属膜，再在硅片的两个表面分别沉积氮化硅膜。然后在硅片上表面涂光刻胶进行光刻，刻...
- 邱传凯岳衢潘丽余翔李国俊李飞周崇喜饶学军
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- 一种基于聚二甲基硅氧烷模板的微透镜阵列元件制作方法
- 本发明是一种基于聚二甲基硅氧烷模板的微透镜阵列元件制作方法，包括如下步骤，S1：制作目标结构掩模板；S2：把目标结构掩模板图形转印到玻璃基板上，得到光刻胶微透镜阵列模版；S3：将聚二甲基硅氧烷与固化剂混合后浇注于光刻胶微...
- 李飞邱传凯李国俊潘丽岳衢
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- 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化被引量：6
- 2014年
- 提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时,可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。
- 刘志辉石振东杨欢李国俊方亮周崇喜
- 关键词：衍射光学半导体激光器微透镜阵列
