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李本德
作品数:
2
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供职机构:
天津大学
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相关领域:
电气工程
电子电信
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合作作者
祖光裕
天津大学
胡明
天津大学
李晓云
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王家生
天津大学
李海燕
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天津大学
作者
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张之圣
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刘志刚
2篇
李海燕
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王家生
2篇
李晓云
2篇
胡明
2篇
祖光裕
2篇
李本德
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2009
1篇
2004
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高稳定薄膜固定电阻器磁控溅射中高阻靶材
张之圣
祖光裕
李本德
胡明
王家生
刘志刚
李晓云
李海燕
靶材光滑平整无缺陷,尺寸382×128×14mm3;薄膜电阻器的阻值范围100Ω-30KΩ(未刻槽);TCR<28ppm/℃;高温储存实验,155℃,1000h,△R≤0.4203%R;寿命试验△R≤0.1706%R;耐...
关键词:
关键词:
固定电阻器
磁控溅射
高稳定的薄膜固定电阻器磁控溅射中高阻靶材
张之圣
祖光裕
李本德
胡明
王家生
刘志刚
李晓云
李海燕
靶材光滑平整无缺陷,尺寸382×128×14mm^3;金属膜电阻器的阻值范围100Ω-30kΩ,TCR小于28ppm/℃,高温储存实验,155℃,1000h,ΔR≤0.4203%R,寿命试验ΔR≤0.1706%R,耐湿实...
关键词:
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金属膜电阻器
磁控溅射
靶材
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