李绍波
- 作品数：21 被引量：72H指数：5
- 供职机构：中国船舶重工集团公司第七一八研究所更多>>
- 相关领域：化学工程理学经济管理金属学及工艺更多>>
- 三氟化氮纯化方法进展被引量：7
- 2007年
- 介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。
- 彭立培王少波李绍波付嫚
- 关键词：三氟化氮纯化精馏
- 六氟化钨中金属粒子的分析被引量：3
- 2009年
- 结合六氟化钨的性质,对六氟化钨中的金属粒子进行分析。由于六氟化钨具有腐蚀性而且遇水迅速反应生成三氧化钨和氟化氢,同时金属粒子密度大,只有测定液态六氟化钨中的金属粒子含量,分析结果才是稳定准确的,所以设计了一个密闭的半定量取样管路,可以准确地完成六氟化钨中金属粒子的取样。完成取样后,根据各种金属粒子的溶解性质,将所取金属粒子配成可以用于原子发射光谱分析的待测溶液,然后利用原子发射光谱分析即可以得到六氟化钨样品中各种金属粒子的含量。
- 郑秋艳王少波王占卫李绍波
- 关键词：六氟化钨金属粒子原子发射光谱
- 氢气的生产方法综述被引量：4
- 2009年
- 在对氢气的性质及用途进行简单介绍的基础上,对主要的氢气生产方法进行了综述。目前应用较为广泛的氢气生产工艺主要有:电解水制氢;太阳能制氢;生物制氢;一次能源转换制氢;含氢物质分解制氢以及近年来发展的硼氢化钠制氢新技术。此外还针对每种制氢技术的优缺点进行了阐述,并对氢能的生产和发展做出了展望。
- 郑秋艳王少波李绍波李本东王占卫
- 关键词：氢气电解水太阳能硼氢化钠
- 浅谈我国三氟化氮的现状和对策被引量：4
- 2007年
- 综述了我国三氟化氮的发展和现状,分析了市场形势,并提出了三氟化氮今后发展的对策。
- 宋在卿李绍波
- 关键词：三氟化氮
- 浅谈我国三氟化氮的现状和对策
- 三氟化氮可用作高能化学激光器的氟源，是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，有更高的蚀刻速率和选择性，是非常良好的清洗剂，同时也是是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。本文综述了我国三氟化氮的发展和...
- 宋在卿李绍波
- 关键词：三氟化氮半导体产业
- 文献传递
- 气相色谱法分析超高纯六氟化钨中杂质气体
- 2010年
- 采用气相色谱-放电离子化检测器分析超高纯六氟化钨中微量杂质气体的含量。自行设计了一套反吹双通路分析系统,当六氟化钨中的气相杂质进入检测器后,将六氟化钨及时反吹出去,避免六氟化钨对仪器的腐蚀。通过正交试验确定了气相色谱仪的最佳工作参数,确定了采用不同的色谱柱进行分析时,仪器的最佳反吹时间。据此提出了气相色谱法分析六氟化钨中的四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳等痕量杂质气体。
- 郑秋艳王少波王占卫李本东李绍波
- 关键词：气相色谱六氟化钨正交试验反吹
- 气相色谱法分析六氟化钨中的杂质被引量：5
- 2009年
- 利用气相色谱法,分析六氟化钨中微量气体杂质的含量。由于六氟化钨有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,要对气相色谱仪进行改造。本文设计了一个反吹双通路分析系统,在六氟化钨中的气相杂质进入检测器后,可以及时将六氟化钨反吹出去,从而既可保证分析的准确性,又可避免六氟化钨对仪器的腐蚀。此外,本实验还结合仪器以及被测样品本身的性质,通过正交实验确定了气相色谱仪的最佳操作参数。在此基础上,利用一系列标准气体,确定了采用不同的色谱柱进行分析时,仪器最佳的反吹时间,从而保证分析的准确性和安全性。最终可以准确地对六氟化钨中的四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳等痕量的气体杂质进行分析,确定了对六氟化钨中气体杂质的分析方法。
- 郑秋艳王少波李绍波李本东王占位
- 关键词：六氟化钨气相色谱正交实验
- 电感耦合等离子体原子发射光谱法测定高纯六氟化钨中13种金属元素被引量：10
- 2010年
- 提出用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）测定高纯六氟化钨中铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镁、钙、钠、钾、铅及钼等13种金属元素的含量。六氟化钨易与空气中水分反应,为此设计了一套空气隔离的密闭取样系统,其中取样管与取样器采用可溶性聚四氟乙烯材料制成。在减压条件下使液态六氟化钨从储样钢罐中引入透明的取样器中,并观察引入的样品液面的高度估计所取样品的质量。关闭进口阀门,打开出口阀门,使取样器中六氟化钨挥发并进入吸收瓶中,最后向取样器中通入高纯氦使六氟化钨完全挥发并接受于吸收瓶中。根据吸收瓶在吸收六氟化钨前后的质量差可得样品的准确质量,待测的各金属元素则留存于取样器中,先后加入稀氨水、硝酸及氢氟酸使其溶解后,定容至100 mL,供ICP-AES测定。各元素的检出限（3s）均小于0.005 mg.L^-1。方法的回收率为90.5%-104.2%,测定值的相对标准偏差（n=11）为3.2%-7.8%。
- 郑秋艳王少波李绍波李本东李翔宇
- 关键词：电感耦合等离子体原子发射光谱法六氟化钨金属元素
- 三氟化氮纯化方法综述
- 介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求。采用的纯化方法有：低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。
- 彭立培王少波李绍波付嫚
- 关键词：三氟化氮纯化方法精馏吸收法
- 氟化氢的分析方法综述被引量：6
- 2009年
- 简单介绍了氟化氢的性质,叙述了化学滴定法、比色法、氟离子选择电极法和离子色谱法等常用分析方法在氟化氢分析方面的应用原理及优缺点。对近年来发展起来的一些新的氟化氢分析方法如荧光分析法、发射光谱法、流动注射系统测氟法和傅立叶红外光谱法进行了阐述。
- 郑秋艳王少波李绍波李本东李翔宇
- 关键词：氟化氢比色法离子色谱法
