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杜寅昌

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇等离子体
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体光谱
  • 1篇等离子体源
  • 1篇电感耦合
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇射频等离子体
  • 1篇微波
  • 1篇微波诊断
  • 1篇夹层
  • 1篇光谱
  • 1篇ICP

机构

  • 2篇中国科学技术...
  • 1篇中国运载火箭...

作者

  • 2篇杜寅昌
  • 1篇曹金祥
  • 1篇张生俊
  • 1篇孟刚
  • 1篇任爱民
  • 1篇刘宇
  • 1篇郑哲
  • 1篇汪建

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换被引量：6
2012年
本文利用微波相位法和光谱诊断法,研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象.E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的,转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化.H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模转换的值,等离子体参数随输入功率变化曲线类似于铁磁物质中的磁滞回线.ArⅡ408.2 nm谱线的强度的变化规律和电子密度随功率变化的规律基本一致.通过本实验可以获得一种电子密度范围为3.85×10^(11)cm^(-3)
杜寅昌曹金祥汪建郑哲刘宇孟刚任爱民张生俊
关键词：等离子体源等离子体光谱
电感耦合放电的模式转换与等离子体密度均匀性的实验研究
电感耦合等离子体(ICP)放电的过程中会经历两种放电模式，分别是容性耦合放电（E模）和感性耦合放电（H模）。由于等离子体中的非线性效应，导致激发H模和维持H模放电所需放电功率不同，H-E模式转换时的功率和线圈电流要低于发...
杜寅昌
关键词：射频等离子体微波诊断有限元法
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