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王喆垚

作品数：80 被引量：115H指数：6
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金北京市科技新星计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术医药卫生理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 57篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 12篇电子电信
  • 10篇自动化与计算...
  • 5篇医药卫生
  • 3篇理学
  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 28篇感器
  • 28篇传感
  • 28篇传感器
  • 18篇互连
  • 13篇电路
  • 12篇集成电路
  • 10篇刻蚀
  • 9篇三维集成电路
  • 8篇圆片
  • 8篇矫治
  • 8篇辅助圆
  • 7篇隐形矫治
  • 7篇谐振器
  • 7篇高深宽比
  • 7篇衬底
  • 6篇石英谐振器
  • 6篇探测器
  • 6篇托槽
  • 6篇键合
  • 5篇三维互连

机构

  • 75篇清华大学
  • 8篇首都医科大学...
  • 1篇北京理工大学

作者

  • 80篇王喆垚
  • 26篇刘理天
  • 12篇陈倩文
  • 9篇宋崇申
  • 8篇蔡坚
  • 8篇白玉兴
  • 7篇冯冠平
  • 7篇朱惠忠
  • 7篇任超超
  • 6篇董永贵
  • 6篇潘立阳
  • 5篇宋振
  • 4篇岳瑞峰
  • 4篇胡欢
  • 4篇吴建刚
  • 4篇李晓玮
  • 4篇周有铮
  • 3篇庄志伟
  • 3篇曾雪锋
  • 3篇唐浩

传媒

  • 3篇压电与声光
  • 2篇Journa...
  • 2篇中华口腔医学...
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇第十次全国口...
  • 1篇分析化学
  • 1篇北京口腔医学
  • 1篇电子测量技术
  • 1篇电子学报
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇中华口腔正畸...

年份

  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 6篇2016
  • 5篇2015
  • 8篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
  • 6篇2011
  • 2篇2010
  • 6篇2009
  • 5篇2008
  • 4篇2007
  • 7篇2006
  • 3篇2002
  • 2篇2001
共 80 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
数模转换器
本发明提出一种数模转换器，包括：差分器，用于将输入电压与反馈电压相减，其中，输入电压为当前像素点与参考像素点输出电压的差值；积分器，用于对输入电压与反馈电压的差值积分；第一比较器，用于当积分器输出大于第一阈值电压时，反馈...
岳梦云伍冬王喆垚
文献传递
用于耳廓的温度测量装置
本发明公开了一种用于耳廓的温度测量装置，包括嵌入体、固定端盖、可拆端盖、温度传感器、导热料以及信号无线传输电路，所述嵌入体具有沿所述嵌入体的轴向贯通所述嵌入体的容纳腔；所述固定端盖固定安装在所述嵌入体的一端且所述可拆端盖...
王喆垚姜汉钧
文献传递
一种基于绝缘体上硅片的应力传感器芯片
本发明公开了属于高温力学测量以及集成电路制造、封装和测量技术领域的一种基于绝缘体上硅片的应力传感器芯片。在硅衬底上制作二氧化硅绝缘层，并在二氧化硅绝缘层上制作应力敏感元件层。其优点是传感器芯片可以测量全部6个方向的应力，...
王喆垚田阔潘立阳胡朝红王建锋刘理天
文献传递
一种电路器件三维集成的方法
本发明公开了一种电路器件三维集成的方法，所述方法包括：在带有电路器件的第一衬底圆片的正面制造盲孔；将第一衬底圆片的正面与辅助圆片进行键合，将所述第一衬底圆片进行背面减薄处理，使所述盲孔开口形成通孔；以所述辅助圆片上的金属...
王喆垚宋崇申徐向明刘理天
文献传递
无托槽隐形矫治微型测力系统的建立被引量：8
2011年
目的建立无托槽隐形矫治微型测力实验平台，以测量矫治过程中牙齿的应力。方法开发基于硅衬底的应力传感器芯片，随后进行芯片减薄，并采用四点弯曲结构进行压阻系数标定，使用超薄的柔性电路板封装传感器芯片，引出信号，搭建完整的隐形矫治应力测量实验平台。结果制造完成的应力传感器芯片长7．0him、宽6．0mm、厚0．1mm，其上包括13个注入制造的单晶硅压阻应力敏感单元和4个标定单元；设计制造了基于多路选择电路的主测试电路板，搭建了完整的隐形矫治应力测量实验平台，通过压阻阻值的测量计算出13个测量单元位置所在的应力。结论建立了无托槽隐形矫治微型测力系统的实验平台，为精确测量矫治过程中牙齿的局部应力提供了方法。
任超超白玉兴王喆垚张敏
关键词：正畸保持器正畸学牙应力分析隐形矫治器
表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化被引量：1
2006年
研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.
庄志伟王喆垚刘理天
关键词：MEMS压阻SOI悬臂梁传感器
一种热辐射探测器阵列及其制造方法
本发明实施例提供一种热辐射探测器阵列及其制造方法，包括第一热辐射吸收层、第二热辐射吸收层和温度敏感器件，以及信号处理电路层。连接温度敏感器件的平面金属互连位于两层热辐射吸收层的下方，实现背照式结构和透射的热辐射的反射和二...
王喆垚
文献传递
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材...
王喆垚周有铮庄志伟刘理天
文献传递
一种金属凸点制造方法
本发明涉及MEMS和集成电路技术领域，本发明公开了一种金属凸点制造方法。本发明的金属凸点制造方法利用化学镀在惰性金属基底上制造金属凸点，将化学镀需要接触式诱导改变为非接触式诱导，通过金属诱导板与金属基底之间存在的一个较小...
王喆垚杜玉欣
文献传递
一种微型电场传感器结构
本发明公开了一种微型电场传感器结构，包括：可动感应电极阵列和固定感应电极阵列，可动感应电极阵列可周期性往复运动，包括至少一个可动感应电极单元，可动感应电极单元包括正极性可动感应电极和负极性可动感应电极，二者通过绝缘结构连...
叶天翔王喆垚
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