王霞
- 作品数：2 被引量：24H指数：2
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究被引量：5
- 2008年
- 采用磁控溅射钛靶,以甲烷和氩气为前驱体,在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜,采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征,采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复,在球-盘微摩擦试验机上考察了薄膜与不同偶件(Si3N4球、Al2O3球、钢球)对摩的摩擦学行为.结果表明,薄膜具有类富勒烯结构特征,薄膜的硬度为20.9 GPa,对应的弹性回复高达85%.薄膜的摩擦性能与摩擦偶件相关:FL-C薄膜与Si3N4球对摩时磨屑在Si3N4球接触面充分覆盖,所形成的转移膜充当固体润滑剂而有效降低了摩擦系数;FL-C薄膜与钢球对摩时,由于钢球硬度远低于FL-C薄膜硬度,导致钢球在较高的接触压力下发生变形而使其表面粗糙度变大,摩擦系数增大,且FL-C薄膜表面发生了较为强烈的摩擦氧化反应,破坏了薄膜的原始结构,新生成的氧化聚合物结构较为疏松,在摩擦剪切作用下易于发生磨损.
- 王霞王鹏张斌杨生荣张俊彦
- 关键词：摩擦学行为转移膜
- 中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究被引量：19
- 2008年
- 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高.
- 张广安王鹏陈友明王霞闫鹏勋张俊彦
- 关键词：中频磁控溅射摩擦磨损性能
