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白金鹏

作品数：10 被引量：43H指数：4
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术轻工技术与工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 6篇微机电系统
  • 6篇机电系统
  • 6篇电系统
  • 5篇动态特性
  • 4篇相移
  • 4篇MEMS
  • 3篇频闪
  • 3篇微结构
  • 3篇相移干涉
  • 2篇动态参数
  • 2篇亚像素
  • 2篇圆片
  • 2篇透镜
  • 2篇像素
  • 2篇聚焦透镜
  • 1篇单纯形
  • 1篇单纯形法
  • 1篇电机
  • 1篇电机驱动
  • 1篇电机驱动器

机构

  • 10篇华中科技大学

作者

  • 10篇白金鹏
  • 9篇史铁林
  • 9篇谢勇君
  • 4篇刘世元
  • 3篇刘胜
  • 3篇来五星
  • 2篇周明才
  • 2篇王海珊

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇光学技术
  • 1篇航空制造技术
  • 1篇测控技术
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 4篇2005
  • 2篇2004
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量被引量：7
2005年
动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性.
谢勇君史铁林白金鹏来五星
关键词：MEMS亚像素硅微陀螺仪单纯形法面内振动协方差
利用多普勒原理测量微机电系统中微结构的动态特性被引量：2
2008年
介绍了将显微扫描激光多普勒测振仪与基础激振法相结合的微结构动态特性的非接触无损测量方法、扫描激光多普勒测振仪的工作原理、设计的基础激振器及其驱动信号,并给出典型微结构——微悬臂梁的测量结果。测量结果与理论计算及有限元仿真结果相符,验证了该方法的有效性。
白金鹏史铁林刘胜谢勇君
关键词：动态特性微结构
基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法被引量：1
2008年
微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难。介绍了一种基于频闪照明与显微相移干涉原理的微结构三维运动测量方法,并给出了微镜的测量结果。测量结果可作为设计与制造工艺反馈。
白金鹏史铁林谢勇君周明才
关键词：微结构
一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置
本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上设置有透光片...
史铁林白金鹏谢勇君刘世元王海珊
文献传递
一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置
本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上设置有透光片...
史铁林白金鹏谢勇君刘世元王海珊
文献传递
MEMS三维静动态测试系统被引量：23
2005年
采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统。系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量。对于面内运动测量,提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法,从MEMS视觉图中提取面内位移,匹配精度为0.02 pixels。对于离面运动测量,采用Hariharan 5步相移干涉(PSI)算法和去包裹算法,离面运动测量分辨率可达1 nm。通过对Si微压力传感器膜和Si微陀螺仪的静动态测试,验证了系统的适用性和可靠性。
谢勇君白金鹏史铁林刘胜
关键词：模板匹配算法微压力传感器刚体运动相移干涉长相关
微机电系统动态特性三维测量装置
微机电系统动态特性三维测量装置，属于精密测量领域，解决微机电系统高频高速运动的全三维可视化测量，提高测量精度和效率，该装置由控制部分和执行部分组成，执行部分包括激光二极管、CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、左侧和右侧...
史铁林刘世元白金鹏谢勇君
文献传递
MEMS动态测试系统及其数据处理被引量：12
2004年
介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理,设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度。利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构。
周明才白金鹏谢勇君来五星史铁林
关键词：微机电系统亚像素定位
微结构动态特性测试技术及其应用研究
白金鹏
关键词：微结构动态特性激光多普勒
MEMS三维动态测试系统的同步控制方法被引量：5
2005年
为使M EM S(m icro e lectro m echan ica l system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法。详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术。通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性。
谢勇君刘世元史铁林来五星白金鹏刘胜
关键词：同步控制微机电系统频闪相移
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