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祁志美
作品数:
3
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院合肥智能机械研究所
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
张耀华
中国科学院合肥智能机械研究所
李民强
中国科学院合肥智能机械研究所
唐红霖
中国科学院合肥智能机械研究所
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年份
3篇
1994
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浸渍涂布法制备ITO气敏薄膜
1994年
利用含In,Sn成分的水溶液,经浸渍涂布工艺在不同衬底上制备了ITO薄膜(掺Sn的In_2O_3薄膜)。采用XRD、XPS、SEM分析了薄膜的结构,成分和表面形貌;测试薄膜的气敏特性,发现其对NO_2有良好的选择性和灵敏度,而且薄膜显示出长时间良好的工作稳定性,可望制成实用的NO_2敏感元件。
祁志美
张耀华
李民强
唐红霖
关键词:
ITO薄膜
气敏特性
浸渍涂布法制备(CaxLa_l-x)FeO_3薄膜及其气敏效应的研究
被引量:3
1994年
利用含有Ca,La和Fe成分的水溶胶(摩尔比为Ca:La:Fe=0.25:0.75:l),经浸渍──提拉──干燥──焙烧过程分别在玻璃衬底及Al_2O_3基片上制备了薄膜。通过XRD和XPS分析表明玻璃衬底上的薄膜是成分准确的钙钛矿结构的(Ca_0.25La_0.75)FeO_3薄膜,而Al_2O_3基片上的薄膜是成分不确切且呈混合相的薄膜;借助SEM观察了薄膜的表面微结构;测试Al203基片上的薄膜对酒精的气敏效应,发现在较低的工作温度下,薄膜对低浓度的酒精蒸气有高的灵敏度。
祁志美
张耀华
关键词:
衬底
SnO_2-SiO_2双层薄膜氢敏元件的特性研究
被引量:6
1994年
采用溶液-凝胶浸渍涂布工艺在Al_2O_3陶瓷管上制备了掺杂SnO_2气敏薄膜;利用高温热解法在SnO_2薄膜表面覆盖SiO_2气体分离膜后制得双层薄膜气敏元件。分别测试并比较单层和双层薄膜元件的气敏特性,结果表明:单层薄膜元件对可燃性气体无选择性、响应和恢复时间短;而双层薄膜元件对氢气表现出极高的灵敏度和优越的选择性,其响应和恢复时间都比单层薄膜元件有所延长,结合实验结果,从理论上阐述了双层薄膜元件对氢气的敏感机理。
祁志美
张耀华
李民强
唐红霖
关键词:
氧化物
氧化锡
气敏器件
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