苏青峰
- 作品数：42 被引量：60H指数：5
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术一般工业技术更多>>
- 气体电子倍增器(GEM)的性能研究
- 本文采用真空热蒸发法在50μm的聚酰亚胺薄膜上蒸镀5~8μm的铜层,并用激光掩模打孔法在其上制备了孔径80μm、孔间距285μm的GEM复合薄膜,成功组装了20mm×20mm的GEM探测器.对GEM探测器在<'55>Fe...
- 苏青峰夏义本王林军汪琳刘健敏史伟民
- 关键词：电子倍增器X射线
- 文献传递
- 晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量：1
- 2006年
- 通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金刚石膜的质量越好。I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小,金刚石膜的电阻率从1011Ω.cm减小到106Ω.cm。在5.9 keV的55Fe X射线辐照下,随着晶粒尺寸的减小,探测器的信噪比(SNR)呈减小趋势。
- 崔江涛王林军苏青峰阮建锋蒋丽雯史伟民夏义本
- 关键词：金刚石膜电学特性晶粒尺寸HFCVD
- 强磁场下金刚石薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种强磁场下金刚石薄膜的制备方法，它是先对基片进行预处理，然后放入带有超导磁铁线圈的热丝化学气相沉积装置的真空反应室中，通入氢气和丙酮，经过氢等离子体清洗、表面碳化、偏压增强成核和生长四个过程制得高质量高度定向...
- 夏义本王林军苏青峰刘健敏彭鸿雁
- 文献传递
- 用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究被引量：1
- 2006年
- 使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌.研究结果表明:成核期的低气压有助于提高成核密度,成核面表面粗糙度约为1.5 nm;拉曼光谱显示1334 cm-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应,成核面含有少量的石墨相,且受到压应力的作用;ZnO/自支撑金刚石膜结构的XRD谱显示,氧化锌薄膜有尖锐的(002)面衍射峰,是c轴择优取向生长的.
- 刘健敏夏义本王林军阮建锋苏青峰蒋丽雯史伟民
- 关键词：表面粗糙度氧化锌薄膜声表面波器件
- 紫外光探测器的制备方法
- 本发明涉及一种高性能的紫外光探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明方法采用传统的、现有的热丝化学气相淀积装置，在硅片衬底上(100)晶面上淀积金刚石薄膜，再在此金刚石薄膜层上蒸镀一定厚度的金电极...
- 王林军夏义本马莹苏青峰刘健敏
- 文献传递
- 正偏压对纳米金刚石薄膜结构和电阻率的影响被引量：2
- 2007年
- 采用电子辅助热丝化学气相沉积工艺,在1kPa反应气压和施加不同的偏流条件下,沉积了纳米金刚石薄膜．用X射线衍射,场发射扫描电镜和半导体特性表征系统对该薄膜进行了表征和分析．结果表明,施加偏流可以使薄膜晶粒呈现明显的(110)晶面择优取向,表面形貌发生较大变化．当偏流为8A时,薄膜晶粒达到最小值,约为20nm,薄膜表面也最光滑．本文讨论了在低气压和电子轰击条件下(110)晶面择优取向的形成机制及其对薄膜显微形貌和电阻率的影响关系．
- 吴南春夏义本谭寿洪刘健敏苏青峰王林军
- 关键词：纳米金刚石薄膜显微形貌电阻率
- 一种金刚石/CdTe薄膜太阳能电池的制备方法
- 本发明公开一种金刚石/CdTe薄膜太阳能电池的制备方法，电池结构为硅衬底/p型金刚石/n型CdTe三层结构。该方法具有以下工艺步骤：首先，对硅衬底/p型金刚石薄膜进行清洗预处理和表面修饰与改性，在p型金刚石薄膜上进行n型...
- 苏青峰史伟民王林军黄健周平生李杰袁安东钱隽
- 文献传递
- 金刚石薄膜探测器的器件结构研究
- 2005年
- 研究了两种器件结构(共平面和三明治)对金刚石薄膜辐射探测器性能的影响。研究表明,共平面结构器件在 241Am 5．5MeVα粒子辐照下的计数率、电荷收集效率、响应电流和能量分辨率等性能参数均优于三明治结构。Raman散射 测试表明,造成上述结果主要是由于金刚石薄膜的成核边和生长边具有不同的微结构特征而引起。
- 王林军楼燕燕苏青峰史伟民夏义本
- 关键词：辐射探测器金刚石薄膜Α粒子
- 强磁场下金刚石薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种强磁场下金刚石薄膜的制备方法，它是先对基片进行预处理，然后放入带有超导磁铁线圈的热丝化学气相沉积装置的真空反应室中，通入氢气和丙酮，经过氢等离子体清洗、表面碳化、偏压增强成核和生长四个过程制得高质量高度定向...
- 夏义本王林军苏青峰刘健敏彭鸿雁
- 文献传递
- MPCVD金刚石薄膜的红外椭偏光学性能研究
- 2010年
- 椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量,并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石薄膜的红外光学性质的影响。当甲烷浓度不变,衬底温度为750℃,反应室的压强为4.0kPa时,金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最佳,其折射率的平均值为2.393。研究结果表明,金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关,同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺条件。
- 苏青峰李东敏史伟民王林军夏义本
- 关键词：光学性能折射率金刚石薄膜
