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蔡良斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中南大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇振动控制
  • 1篇同步控制
  • 1篇隔振
  • 1篇隔振系统
  • 1篇工件台
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇光源
  • 1篇光源系统

机构

  • 1篇中南大学

作者

  • 1篇杨辅强
  • 1篇李建平
  • 1篇袁志扬
  • 1篇吴运新
  • 1篇王永华
  • 1篇蔡良斌
  • 1篇邓习树
  • 1篇贺地球

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种步进扫描光刻机隔振系统模拟试验装置
本发明公开了一种步进扫描光刻机隔振系统模拟试验装置，把整个试验装置分成内部世界和外部世界两大部分，外部世界主要完成模拟光刻机的精密步进扫描运动，使工件台和掩模台按预定的速度、加速度曲线运动，完全再现真正光刻机的步进扫描运...
吴运新邓习树李建平贺地球王永华杨辅强袁志扬蔡良斌
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