钱剑钊
- 作品数：11 被引量：20H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 三维微纳米接触扫描探头
- 本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字...
- 李瑞君范光照钱剑钊王志伟张珂
- 文献传递
- 三维微纳米接触扫描探头
- 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬浮...
- 李瑞君范光照黄强先钱剑钊陶胜
- 微纳米三坐标测量机测头的研究进展被引量：15
- 2013年
- 根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振触发方法和触发测头。最后对微纳米三坐标测头的研究与开发趋势进行了总结和展望。
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- 关键词：测头
- 纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定(英文)被引量：1
- 2012年
- 三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。
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- 关键词：纳米三坐标测量机
- 纳米三坐标测量机模拟式探头系统实验研究
- 对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机（CMM）由于测量系统的局限性往往只能测量微米或者亚微米级别的器件。作为三坐标测量机最重要的部分，探头的精度能否达到纳米级别决定着整体...
- 钱剑钊
- 关键词：纳米三坐标测量机
- 文献传递
- 三维微纳米接触扫描探头
- 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是：在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬...
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- 文献传递
- 一种大量程高精度微纳米扫描探头
- 本发明公开了一种大量程高精度微纳米扫描探头，包括多功能微纳米激光测量头，多功能微纳米激光测量头物镜筒中的聚焦透镜的数值孔径值介于0.16--0.6之间。本发明通过更换多功能纳米激光测量头中聚焦透镜，选择数值孔径值介于0....
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- 基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头被引量：4
- 2011年
- DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。
- 李瑞君钱剑钊龚伟黄强先
- 关键词：聚焦透镜数值孔径量程
- 一种大量程高精度微纳米扫描探头
- 本发明公开了一种大量程高精度微纳米扫描探头，包括多功能微纳米激光测量头，多功能微纳米激光测量头物镜筒中的聚焦透镜的数值孔径值介于0.16-—0.6之间。本发明通过更换多功能纳米激光测量头中聚焦透镜，选择数值孔径值介于0....
- 李瑞君程真英钱剑钊杨圣春周斌陶为明
- 文献传递
- Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine被引量：2
- 2012年
- 李瑞君范光照钱剑钊黄强先龚伟苗晋伟
- 关键词：稳定性分析
