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陈澄

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：天津市科技计划国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术交通运输工程建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 2篇导弹
  • 2篇调整装置
  • 2篇图像
  • 2篇面内
  • 2篇科研院
  • 2篇科研院校
  • 2篇回转
  • 2篇回转中心
  • 2篇横滚
  • 2篇俯仰
  • 2篇MEMS
  • 1篇任意波形
  • 1篇任意波形发生...
  • 1篇双相
  • 1篇图像采集
  • 1篇图像采集卡
  • 1篇图像处理
  • 1篇图像处理单元
  • 1篇频闪
  • 1篇微机电系统

机构

  • 5篇天津大学

作者

  • 5篇陈澄
  • 4篇李艳宁
  • 3篇傅星
  • 2篇胡小唐
  • 2篇徐学明
  • 2篇李季波
  • 2篇陈琨
  • 2篇郭旭敏
  • 2篇陈治
  • 1篇丹特·多伦雷

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS离面运动测试
MEMS动态测试技术是MEMS测试技术的重要组成部分，是目前国内外的研究热点之一。常用的MEMS动态测试系统多基于光学干涉技术或激光多普勒技术，光学干涉技术中的频闪成像技术有着测量范围广、测量精度高等突出优点，因此应用最...
陈澄
关键词：MEMS器件
微纳器件离面运动测量中面内误差检测装置及补偿方法
一种微纳器件离面运动测量中面内误差检测装置及补偿方法，装置有控制及图像处理单元，以及与所述的控制及图像处理单元相连接的相移显微干涉系统，相移显微干涉系统包括有：依次设置的：振动隔离台、三维微动探针台、被测微纳器件、显微干...
陈治陈澄李艳宁丹特·多伦雷傅星胡小唐
文献传递
适用于回转体工件的姿态调节装置
本发明提供一种回转体工件的姿态调整装置，该装置包括产品装夹及调整装置和转台，二者通过直线导轨连接，保证前者可以在转台上移动，从而可以使回转体工件的前端探测器始终位于转台的回转中心。产品装夹及调整装置采用阶梯套筒与可调支撑...
李艳宁李季波徐学明郭旭敏陈琨陈澄傅星
文献传递
基于面内补偿的微机电系统离面运动测试被引量：2
2012年
将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干涉图像;然后通过图像处理得到每个准静态位置的亮场图像,进行面内位移测试;最后利用面内位移测试结果对离面位移测试进行补偿,即双相位展开算法,完成对于MEMS结构的离面运动测试。实验结果表明:面内运动的测试的精度可达0.01 pixel,静态离面高度测试的重复精度可达0.52 nm,可以完成伴随着面内位移的MEMS离面位移测试。
陈澄李艳宁陈治Dante Dorantes胡小唐
适用于回转体工件的姿态调节装置
本发明提供一种回转体工件的姿态调整装置，该装置包括产品装夹及调整装置和转台，二者通过直线导轨连接，保证前者可以在转台上移动，从而可以使回转体工件的前端探测器始终位于转台的回转中心。产品装夹及调整装置采用阶梯套筒与可调支撑...
李艳宁李季波徐学明郭旭敏陈琨陈澄傅星
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