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马志杰

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇独立控制
  • 2篇气相沉积
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇操作温度
  • 2篇程控

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇郑兰荪
  • 2篇张先华
  • 2篇谢素原
  • 2篇林水潮
  • 2篇黄荣彬
  • 2篇匡勤
  • 2篇江智渊
  • 2篇马志杰

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
集硅片加热沉积于一体的化学气相沉积方法
涉及一种集硅片加热沉积于一体的化学气相沉积方法。其步骤为：将硅片置于电极上，抽真空，启动硅片微区加热控制器电源，直接以硅片为加热装置，设定硅片温度，通入或加入反应物，反应物在硅片表面反应，生成产物；以硅片作为基底，使反应...
林水潮谢素原江智渊张先华匡勤马志杰黄荣彬郑兰荪
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集硅片加热沉积于一体的化学气相沉积方法
涉及一种集硅片加热沉积于一体的化学气相沉积方法。其步骤为：将硅片置于电极上，抽真空，启动硅片微区加热控制器电源，直接以硅片为加热装置，设定硅片温度，通入或加入反应物，反应物在硅片表面反应，生成产物；以硅片作为基底，使反应...
林水潮谢素原江智渊张先华匡勤马志杰黄荣彬郑兰荪
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