倪明阳
- 作品数：122 被引量：78H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中俄科技合作项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>
- 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
- 2015年
- 为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。
- 东立剑赵磊张德福于新峰倪明阳李显凌
- 关键词：成像系统主动光学像散补偿有限元分析
- 一种光机系统胶接接头的老化检测方法及其装置
- 本发明公开了一种光机系统胶接接头的老化检测方法及其装置，该装置包括用于发射老化光线的人工老化加速系统、振动测试系统以及计算单元（3），人工老化加速系统包括激光器（11）；振动测试系统包括：用于夹持待检测胶接接头的夹具（2...
- 王东平吴志会倪明阳周连生李显凌杨怀江隋永新
- 文献传递
- 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计被引量：3
- 2016年
- 针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型,为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%,刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%,测试精度改善明显,能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效,且建立的机构理论模型和分析方法可信。
- 张德福李显凌葛川倪明阳郭抗
- 关键词：伪刚体模型传感器线性度
- 一种胶合镜片结构及其制作方法
- 本发明实施例公开了一种胶合镜片结构及其制作方法，包括至少两片光学镜片，相邻的两片光学镜片之间填充设置液体胶合层以及围绕所述液体胶合层的密封胶层，本发明的主要优点是液体胶合工艺过程简单高效，既不需要专业的胶合层固化设备，也...
- 吴志会王东平华洋洋倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置
- 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的需要结构空间大、驱动器使用多和结构设计制造困难的问题。本发明包括镜座连接件、镜框连接件和两组微动调整机构；两组微...
- 郭抗倪明阳陈华男隋永新杨怀江
- 一种一体式轴向精密微调装置
- 本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部...
- 陈华男郭抗倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 倾斜可调的吊装装置
- 倾斜可调的吊装装置，涉及吊装装置领域，解决了现有吊装装置存在的只能在水平方向和竖直方向调节，无法实现倾斜的调节的问题。该装置包括中心轴、下调整板、球轴承、套筒、上调整板、碟形弹簧、吊环、水平仪和倾斜调节执行结构；球轴承套...
- 东立剑刘春来倪明阳张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置
- 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，该装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动...
- 赵磊巩岩倪明阳孙振
- 文献传递
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Z轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平...
- 巩岩张巍倪明阳赵磊王学亮袁文全
- 高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框
- 高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、操作空间大、定位及重复定位精度低和镜片易被污染的问题。本发明的外镜框为圆筒结构，外镜框内部两个侧壁设置...
- 陈华男郭抗倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
