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冯奎景

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇白光干涉
  • 1篇微机电系统
  • 1篇误差分析
  • 1篇机电系统
  • 1篇光学
  • 1篇光学测量
  • 1篇表面形貌
  • 1篇采样
  • 1篇采样定理
  • 1篇测量系统
  • 1篇差分
  • 1篇电系统

机构

  • 3篇华中科技大学

作者

  • 3篇冯奎景
  • 2篇史铁林
  • 2篇廖广兰
  • 2篇王海珊
  • 1篇刘世元

传媒

  • 1篇计算机工程与...
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于采样定理的白光干涉SEST算法研究被引量：1
2008年
研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区间,减少了存储的采样值及计算量,提高了数据处理速度。仿真结果表明,该算法是快速、有效的。
冯奎景廖广兰史铁林王海珊
关键词：光学测量白光干涉表面形貌
林尼克结构干涉测量系统误差分析被引量：1
2008年
在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。
王海珊史铁林刘世元冯奎景廖广兰
基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究
为满足微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)产业化及实验研究对表面形貌测量工具的需求，本文对垂直扫描白光干涉技术做了深入的研究，设计开发了一套基于Linnik干涉结构的扫描...
冯奎景
关键词：微机电系统白光干涉
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