刘西锋
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>
- 纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制被引量：6
- 2013年
- 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4%浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1%H2,线性度为99.4%.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95%以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义.
- 刘西锋董汉鹏夏善红
- 关键词：纳米氧化锡
- 磁控溅射制备氧化铪薄膜的高温绝缘性
- 采用射频磁控溅射法在不同氧氩比的条件下制备了氧化铪绝缘薄膜,分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对氧化铪薄膜的结构和表面形貌进行了表征;分析了不同氧氩比对薄膜结构和表面形貌的影响;针对氧化铪在高温下的应用重点...
- 刘西锋董汉鹏夏善红
- 关键词：射频磁控溅射法表面形貌
- 文献传递
