卢云鹏
- 作品数：7 被引量：16H指数：2
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 精密激光刻蚀技术在多元金属杜瓦中的应用
- 本文采用激光刻蚀金属薄膜技术实现工程化微型杜瓦的引出线制备技术,既保证了最大限度控制引线传热,又具有结构简单的优点.文章介绍了一种通过采用波长较短的激光光束、配以三轴精密控制系统,优选激光脉冲能量,实现了玻璃内管外圆面的...
- 卢云鹏朱颖峰李冉
- 关键词：激光刻蚀
- 文献传递
- 工程杜瓦静态热负载自动测量装置
- 一种工程杜瓦静态热负载自动测量装置，它由测量天平、装有静态热负载自动测量软件的主机、显示器、键盘、打印机组成，测量天平的数据输出端口接主机的串口；键盘接至主机的输入端口；主机的输出端与显示器、打印机相接。键盘可采用数字小...
- 朱颖峰龙杰勋卢云鹏卢锐
- 文献传递
- 一种用于晶圆级器件刻蚀的背面保护装置及方法
- 本发明公开了一种用于晶圆级器件刻蚀的背面保护装置及方法，该装置由底座、刻蚀腔体和晶圆构成，底座、刻蚀腔体和垫圈均由耐腐蚀材料加工成形。利用防腐蚀底座、密封橡胶圈和刻蚀腔体等结构设计，实现半导体晶圆级器件刻蚀释放背面的有效...
- 甘游宇孙鸿生李淑芬李明尹慧琼赵帅诚刘枫陈正超李增弟卢云鹏
- 军用多元金属杜瓦瓶微小漏率测试
- 器件的漏气率大小是决定红外探测器搁置和使用寿命的关键因素之一,也是判断军用多元金属杜瓦瓶真空完善性的重要指标,特别是常规漏率检测手段难以探测的微小漏率是长久以来影响军用杜瓦瓶成品率的重要因素.本文简要介绍几种真空高灵敏度...
- 朱颖峰卢云鹏肖徽山和自强
- 关键词：红外探测器漏气率
- 文献传递
- 军用工程化微型分置式焦平面杜瓦的研制被引量：4
- 2006年
- 详细介绍用于封装288×4、288×1长波红外HgCdTe焦平面探测器芯片和256×256中波红外 PtSi焦平面探测器芯片的分置式焦平面杜瓦的研制情况。该型号产品实现了工程化、实用化、具有良好通用性、可生产性和可扩展能力,具有自主知识产权,产品各项技术指标达到了国际先进水平。
- 朱颖峰肖徽山陶雁明卢云鹏
- 关键词：真空寿命红外焦平面探测器
- 一种高气密无污染杜瓦真空穿刺装置及气氛测试分析方法
- 本发明公开了一种高气密无污染杜瓦真空穿刺装置，包括干泵、分子泵、全金属阀门、复合真空规、四极质谱仪、带过滤装置的全金属阀门、复合真空规、杜瓦组件及穿刺装置；干泵、分子泵、全金属阀门构成抽气系统；全金属阀门、复合真空规、四...
- 张亚平魏超群丁智鸿陶朝坤段树文张琼月刘锦松尹腾飞曾昌行杨强王艳卢云鹏
- 金属杜瓦瓶微小漏率检测被引量：12
- 2001年
- 器件的漏气率大小是决定红外探测器搁置和使用寿命的关键因素之一 ,也是判断军用多元金属杜瓦瓶真空完善性的重要指标 ,特别是常规漏率检测手段难以探测微小漏率是长久以来影响杜瓦瓶成品率的重要因素。文中简要介绍几种真空高灵敏度微小漏率测试方法、基本原理和测试结果 ,针对杜瓦瓶的气密性要求采用相应微小漏率测试手段 ,并在生产中获得应用。
- 朱颖峰卢云鹏李海英肖徽山和自强李冰川
- 关键词：杜瓦瓶真空寿命红外探测器
