向毅
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海交通大学微纳科学技术研究院更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家高技术研究发展计划上海市基础研究重大（重点）项目更多>>
- 相关领域：电气工程一般工业技术更多>>
- MEMS平面磁芯螺旋微型变压器的制造技术研究
- 随着便携式电子设备向高集成度、高复杂度方向发展,势必要求在更小的基片上集成更多的元器件。在电子设备中,电源占有最大的体积,其内部使用变压器和电感等磁性元件,因此不可能大幅度减小体积和重量。但是随着高频开关电源技术的发展,...
- 向毅
- 关键词：MEMS电感量品质因数互感聚酰亚胺
- 退火温度对铁基纳米晶带材高频磁导率的影响被引量：1
- 2008年
- 采用单线圈法,利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪,研究了退火温度对铁基纳米晶带材的高频磁导率的影响。结果表明:经550℃退火处理的30μm厚样品磁导率实部,随频率增加而减小,在1MHz下为1210,在20MHz下为234,磁导率虚部有类似的变化趋势;比较了30μm厚样品经不同温度退火处理后磁导率的测量结果,得出550℃是一个比较理想的退火温度。
- 向毅周勇雷冲周志敏丁文
- 平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究被引量：2
- 2009年
- 采用MEMS技术（包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等）研制了平面磁芯螺旋结构微电感，磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝，线圈导体的宽度和间隙均为30μm，厚度为20μm；电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明：在频率为1-10MHz时，电感量和品质因数分别为3．2～1．2μH和2．3—1．1；在1MHz下，电感量和品质因数分别为3．2μH和2．3，可应用于微型化DC／DC变换器。
- 冯书谊周勇周志敏向毅
- 关键词：MEMS技术电感量品质因数
- 铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究被引量：1
- 2012年
- 给出一种铁基软磁合金薄带高频磁导率的测量方法,详细介绍了该方法的测量原理,并利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪研究了退火温度对20μm厚铁基软磁合金薄带高频磁导率的影响。结果表明,随退火温度的提高,磁导率实部单调提高,磁导率虚部则是先升高后降低。尤其是在550℃下退火,在1MHz和10MHz下样品磁导率实部分别为2210和330;比较了不同温度退火样品的磁导率的测量结果,得知550℃是一个比较理想的退火温度。研究结果对以铁基非晶、纳米晶软磁合金薄带为磁心的高频微电感、微变压器等磁性器件的设计具有重要的指导意义。
- 蒋伟伟雷剑周勇向毅雷冲
- 关键词：退火热处理
