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孙政荣
作品数:
6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
陈本永
浙江工程学院
吴晓维
浙江工程学院
王俊茹
浙江工程学院
李达成
清华大学机械工程学院精密仪器与...
周砚江
浙江工程学院
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机构
6篇
浙江工程学院
1篇
清华大学
作者
6篇
吴晓维
6篇
孙政荣
6篇
陈本永
2篇
王俊茹
1篇
周砚江
1篇
李达成
传媒
1篇
仪器仪表学报
年份
4篇
2004
2篇
2003
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双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
被引量:2
2003年
本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪 ;针对该干涉仪的光路结构特点 ,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法 ,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测 ;实验测量结果表明该定位方法能够实现 0 .4
陈本永
周砚江
孙政荣
吴晓维
李达成
关键词:
双频激光
合成波长
相位检测
双频激光合成波长干涉仪
本发明公开了一种双频激光合成波长干涉仪,它包括双频激光器,四个分光镜,参考镜,光阑,二个偏振分光镜,三个角锥棱镜,二个1/4波片,带光阑的反射镜,测量镜,反射镜,三个检偏器和四个光电探测器等组成。在光路中有两个迈克尔逊干...
陈本永
孙政荣
吴晓维
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激光双频合成波长干涉仪
本实用新型公开了一种激光双频合成波长干涉仪,它包括双频激光器,四个分光镜,参考镜,光阑,二个偏振分光镜,三个角锥棱镜,二个1/4波片,带光阑的反射镜,测量镜,反射镜,三个检偏器和四个光电探测器等组成。在光路中有两个迈克尔...
陈本永
孙政荣
吴晓维
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磁悬浮微运动平台高度测量与校正装置
本实用新型公开了一种磁悬浮微运动平台高度测量与校正装置。在运动平台的下面四边中心对称位置嵌入四组永磁阵列,与每组永磁阵列对应地布置四组固定绕组,永磁阵列与固定绕组之间电磁力的相互作用,就使运动平台产生高度(垂直)和水平方...
陈本永
王俊茹
孙政荣
吴晓维
雷勇
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双频激光合成波长干涉仪
本发明公开了一种双频激光合成波长干涉仪,它包括双频激光器,四个分光镜,参考镜,光阑,二个偏振分光镜,三个角锥棱镜,二个1/4波片,带光阑的反射镜,测量镜,反射镜,三个检偏器和四个光电探测器等组成。在光路中有两个迈克尔逊干...
陈本永
孙政荣
吴晓维
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磁悬浮微运动平台高度测量与校正方法及其装置
本发明公开了一种磁悬浮微运动平台高度测量与校正方法及其装置。在运动平台的下面四边中心对称位置嵌入四组永磁阵列,与每组永磁阵列对应地布置四组固定绕组,永磁阵列与固定绕组之间电磁力的相互作用,就使运动平台产生高度(垂直)和水...
陈本永
王俊茹
孙政荣
吴晓维
雷勇
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