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孟方方

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇调制器
  • 2篇形貌
  • 2篇椭偏测量
  • 2篇相位延迟
  • 2篇空间光调制器
  • 2篇光调制
  • 2篇光调制器
  • 2篇薄膜形貌
  • 2篇测量方法

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇吴学健
  • 2篇张继涛
  • 2篇李岩
  • 2篇孟方方

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种基于空间光调制器的椭偏测量装置及测量方法
一种基于空间光调制器的椭偏测量装置及测量方法，应用于对样品表面纳米尺度薄膜厚度分布进行观测的测量；其特点采用空间光调制器改变光束两垂直方向偏振的相位延迟，采用面阵探测器记录样品表面薄膜的椭偏图像，采用拟合算法和迭代算法对...
孟方方张继涛吴学健李岩
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一种基于空间光调制器的椭偏测量装置及测量方法
一种基于空间光调制器的椭偏测量装置及测量方法，应用于对样品表面纳米尺度薄膜厚度分布进行观测的测量；其特点采用空间光调制器改变光束两垂直方向偏振的相位延迟，采用面阵探测器记录样品表面薄膜的椭偏图像，采用拟合算法和迭代算法对...
孟方方张继涛吴学健李岩
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