宋应民
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：四川大学更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院基金更多>>
- 相关领域：核科学技术一般工业技术理学机械工程更多>>
- 纳米晶钛膜及LaNiAl膜中的氦行为研究
- 宋应民
- 含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究被引量：3
- 2008年
- 为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究。结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1nm增加到44.2nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜。He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势。
- 庞洪超罗顺忠龙兴贵安竹刘宁段艳敏吴兴春彭述明杨本福王培禄宋应民郑思孝
- 磁控溅射沉积含He纳米晶钛膜制备
- 2007年
- 采用直流磁控溅射方法,通过分别改变衬底温度及He分压来制备不同氦含量的钛膜。利用PBS、XRD、TEM及AFM分别对钛膜中的He含量、平均晶粒尺寸及膜的表面形貌进行分析。结果表明:在不同温度范围内,温度变化对所制备钛膜中He含量的影响明显不同;He含量与晶粒尺寸直接相关,氦原子进入钛膜后,抑制了晶粒的长大;随着钛膜中He与Ti的原子个数比由1.0%增加到11.9%,TEM测得的平均晶粒尺寸由约35 nm减小到约4 nm;选择合适的He分压,能够制备出He含量较高的氦钛膜。
- 宋应民罗顺忠龙兴贵彭述明安竹刘宁庞洪超段艳敏吴兴春杨本福郑思孝
- 关键词：磁控溅射平均晶粒尺寸
