张凤田
- 作品数：35 被引量：47H指数：4
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制被引量：2
- 2011年
- 分析了谐振微加速度计闭环驱动控制的要求,并根据要求建立了幅度和频率自适应控制的双闭环驱动分析模型.鉴于系统的高阶非线性,采用近似平均法分析了系统的稳态平衡点和稳定条件.对基于锁相技术的频率跟踪环,得到了环路频率稳定跟踪的积分控制器临界条件.对基于自动增益的幅度控制环,分析表明在没有PI控制器时不能实现恒幅振动,在引入PI控制器后,振动幅度与品质因数和频率无关;同时,较小的直流参考电压能实现同样大的振幅.仿真结果有效的验证了上述结论,理论分析和仿真有助于驱动电路的设计和调试.
- 刘恒何晓平张凤田苏伟张富堂
- 关键词：加速度计谐振频率跟踪平均法
- 低g值MEMS惯性开关的设计与工艺优化被引量：2
- 2016年
- 针对既有硅基低g值MEMS惯性开关的加工工艺复杂、加工周期长以及成品率低的问题,提出改进的结构设计和工艺方案。设计以圆形质量块+圆形螺旋梁为基础的敏感结构,以避免原结构因应力集中导致的螺旋梁断裂现象;提出玻璃-SOI-玻璃三层直接键合工艺技术,改变金属电极间绝缘设计方法,调整开关行程的加工方式,从而减少大量加工工序,降低了工艺难度。形成了一种可靠、简单的低g值开关的统一化加工方案。流片结果表明,新研制的MEMS开关的加工周期缩短为原来的1/3,加工成品率提高为原来的4倍。测试结果表明,开关阈值为5.6g,符合设计要求的5.5g±1g。
- 熊壮张凤田袁明权
- 关键词：MEMS惯性开关绝缘硅阳极键合微纳加工
- 一种在线自检测压电加速度传感器
- 本发明公开一种在线自检测压电加速度传感器，包括基座、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、敏感压电单元、驱动压电单元、惯性质量和预紧螺母；所述基座包括一个底座和底座上方一个柱形凸起，所述底座和柱形凸起为一体结构，所述柱形凸...
- 陶逢刚赵宝林刘显学唐彬张凤田刘天国
- 文献传递
- 加热式气压微传感器与电路集成技术被引量：1
- 2006年
- 微传感器与电路集成技术是实现片上测试系统的关键技术之一。随着片上系统(SOC,Sys-tem-on-a-chip)技术的发展,如何将微传感器与电路集成在同一芯片上成为SOC与传感器领域的一个重要方向。本文介绍了加热式气压微传感器的工作原理、处理电路及其集成工艺方案。
- 张凤田唐祯安
- 关键词：集成技术微传感器电路集成热式片上系统处理电路
- 检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响被引量：8
- 2009年
- 静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型。根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围。同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响。分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响。理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据。
- 刘恒张富堂张凤田何晓平苏伟
- 关键词：微机械电子系统微加速度计
- 低g值微惯性开关中阿基米德平面螺旋梁的设计
- 2017年
- 针对低g值微惯性开关对微弹簧的系统刚度达到(0.1~10)N/m数量级的要求,设计了一种阿基米德平面螺旋梁结构的微惯性开关。根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导了阿基米德平面螺旋梁的弹性系数计算公式,并与ANSYS有限元仿真分析结果进行了对比。基于推导的弹性系数计算公式设计了一种三根阿基米德平面螺旋梁支撑的动作阈值5.5gn的微惯性开关,并采用SOI硅片以及玻璃-硅-玻璃键合技术进行了加工,在离心转台上对开关实际动作阈值进行测试,并将测试值与设计值进行对比。结果表明,采用推导到的阿基米德平面螺旋梁弹性系数计算公式计算结果与ANSYS仿真结果相近,基于推导的弹性系数计算公式设计的三根阿基米德平面螺旋梁支撑的微惯性开关动作阈值设计值与实测值相近,单根阿基米德平面螺旋梁弹性系数约0.8 N/m,能够满足低g值微惯性开关低刚度的要求,推导的弹性系数计算公式能够用于基于阿基米德平面螺旋梁的低g值微惯性开关的设计。
- 张凤田熊壮金伟锋唐彬
- 关键词：阿基米德
- 微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析
- 2005年
- 根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.
- 江胜峰金仁成唐祯安张凤田高仁璟
- 关键词：测试电路加热电阻
- 用于薄膜热容测量的微型量热计
- 本文设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从30...
- 余隽唐祯安张凤田王立鼎陈正豪
- 关键词：MEMS器件
- 文献传递网络资源链接
- 一种传感器冗余式设计的触发引信
- 本发明提供了一种传感器冗余式设计的触发引信，该方案包括有安控组件、换流触发组件、起爆组件、传感器及信号处理组件、输入输出端口和电源组件；安控组件分别与输入输出端口、传感器及信号处理组件以及换流触发组件电连接；传感器及信号...
- 宋睿沈德璋刘炜叶海福张凤田赵紫正赵昕张中才
- 基于SOC的微气压传感器研究
- 研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感嚣的微气压测试系统。以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成。测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1-100kPa)内,对微...
- 高仁璟唐祯安张凤田王海霞江胜峰
- 关键词：测试系统SOCAD590
- 文献传递
