徐天彤
- 作品数：57 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程理学航空宇航科学技术更多>>
- 一种多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用
- 多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用，包括金属辅助化学刻蚀硅基纳米草系列实验及参数设计；电场/电流辅助下多维度复杂结构表面上硅基纳米草的制备；基于光刻掩膜工艺的图案化硅基纳米草。本发明研究了金属辅助化学刻蚀硅基纳米草中...
- 徐天彤李海旺方卫东陶智吴瀚枭聂芃芃李沐润
- 一种MEMS回形螺线管变压器及其制造方法
- 本发明实施例提供了一种MEMS回形螺线管变压器，包括：硅衬底、回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管；其中，回形软磁铁芯包裹在硅衬底内部，硅衬底上设置有第一螺旋孔道和第二螺旋孔道，且回形软磁铁芯的两个相对的边分别穿过第一螺...
- 陶智李海旺徐天彤吴瀚枭
- 文献传递
- 一种MEMS环形螺线管电感器及其制造方法
- 本发明实施例提供了一种MEMS环形螺线管电感器，包括：硅衬底、环形软磁铁芯和螺线管；其中，所述环形软磁铁芯包裹在所述硅衬底内部，所述硅衬底上设置有螺旋孔道，且所述环形软磁铁芯穿过所述螺旋孔道的中心，所述螺线管设置在所述螺...
- 陶智李海旺徐天彤吴瀚枭
- 文献传递
- 微通道内亲疏水壁面特性对入口段长度的影响
- 2021年
- 针对水力直径为200μm的微尺度通道,采用数值模拟的方法研究了壁面亲疏水特性产生的速度滑移对微尺度通道入口段长度的影响,建立了包含滑移长度影响的入口段长度修正计算公式。研究表明:相同流量下,速度滑移的存在使得微尺度通道充分发展段的最大速度减小,从而缩短了入口段长度,且在低雷诺数区域,入口段的缩短效应更为显著。针对不同的雷诺数区域分别进行无量纲入口段长度计算公式的拟合,得到拟合系数随滑移长度的变化规律与对应关系,从而建立了滑移长度对入口段长度的修正计算方法和准则关系式,利用修正公式计算的结果与数值模拟结果相比,最大误差为3.7%。
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- 关键词：微通道速度滑移入口段
- 一种MEMS电磁电动机的定位及冷却结构
- 本发明公开一种MEMS电磁电动机的定位及冷却结构，包括：定子组件；转子组件；封装机构，封装机构包括正面盖板、反面盖板和定位盖板，定位盖板设置在反面盖板远离正面盖板的一侧，定位盖板的中心位置安装有固定轴承；第一定位组件，第...
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- 基于MEMS工艺微尺度流动换热高精度集成测试方法
- 基于MEMS工艺的微尺度流动换热高精度集成测试方法，包括：基于MEMS工艺的实验件加工；测试系统的集成；本发明通过玻璃激光打孔和硅晶圆的等离子体刻蚀技术，完成测压点的原位引出测量，避免了局部压力损失；利用金属电阻温度系数...
- 徐天彤李海旺方卫东陶智吴瀚枭李沐润
- MEMS传感器
- 本实用新型提供了一种MEMS传感器，该装置包括玻璃基底以及形成在玻璃基底上的硅衬底，在硅衬底内形成有两个空腔，空腔顶壁的硅衬底形成梁；传感器还包括形成在硅衬底的第一结构至第八结构；还包括形成在硅衬底上位于第一结构以及第八...
- 陶智李秋实李海旺谭啸徐天彤余明星
- 文献传递
- MEMS传感器、基于MEMS传感器的热力参数测量方法
- 本发明提供了一种MEMS传感器以及基于MEMS传感器的热力参数测量方法，该装置包括玻璃基底以及形成在玻璃基底上的硅衬底，在硅衬底内形成有两个空腔，空腔顶壁的硅衬底形成梁；传感器还包括形成在硅衬底的第一结构至第八结构；还包...
- 陶智李秋实李海旺谭啸徐天彤余明星
- 基于MEMS加工实现的微型爬行机器人
- 本发明涉及一种基于MEMS加工实现的微型爬行机器人。所述微型爬行机器人包括腿部结构和微型直线电机，整体尺寸在毫米级，所述腿部结构包括前腿、后腿，所述前腿采用MEMS加工工艺，通过对掺杂P的低阻硅片的方式进行加工制造。本发...
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- 一种微型三维螺线管变压器以及数字隔离器
- 本发明涉及一种微型三维螺线管变压器以及数字隔离器，微型三维螺线管变压器包括两个结构相同且相互交错缠绕的螺线管、支撑螺线管的硅基和聚酰亚胺隔离层；每一个螺线管包括若干匝相互平行的线圈，且相邻的线圈间距一致，每一匝线圈包括上...
- 徐天彤李海旺朱凯云陶智雷凯博孙加冕
